7- und 5-nm-CMOS-Prozesse sind längst Mainstream in der Chip-Massenproduktion, 3-nm-Fertigungen stehen schon in den Startlöchern. Wie müssen sich Front-Ends, Back-Ends und der Middle-of-Line-Strukturen in den Chips bei den kommenden Technologiegenerationen entwickeln, damit eine Skalierung hin zu 1-nm-Knoten überhaupt möglich ist?
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