Lithografie-Technologien für die Halbleiterfertigung können in der Anschaffung sowie im Betrieb kostenintensiv ausfallen; insbesondere dann, wenn man hochmoderne Technologien wie EUV (Extreme Ultraviolet Lithography) nutzen will. Nanoimprint-Lithografie-Systeme, wie sie Canon herstellt und nun nach Texas geliefert hat, versprechen geringere Kosten bei ähnlich hoher Qualität.
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