Kapazitätsausbau in Oberkochen Zeiss investiert in zusätzliche Fertigungsflächen in Deutschland

Von Susanne Braun 2 min Lesedauer

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Zeiss SMT wird in Oberkochen rund 25.000 Quadratmeter zusätzliche Flächen für die Halbleitertechnik schaffen. Der Ausbau betrifft einen neuralgischen Punkt der globalen Chipindustrie, denn Zeiss ist der alleinige Lieferant zentraler Optiken für ASML.

Der Campus von Zeis SMT in Oberkochen wurde um ein neues Gebäude (im Vordergrund) erweitert.(Bild:  Zeiss SMT)
Der Campus von Zeis SMT in Oberkochen wurde um ein neues Gebäude (im Vordergrund) erweitert.
(Bild: Zeiss SMT)

Die Verantwortlichen von Zeiss Semiconductor Manufacturing Technology haben am 24. Juli 2026 mitgeteilt, den Stammsitz in Oberkochen zu erweitern. Insgesamt entstehen dort rund 25.000 Quadratmeter zusätzliche Fläche für Produktion und produktionsnahe Bereiche. Bereits jetzt sind die ersten Beschäftigten in ein neues Bürogebäude eingezogen, nachdem vor rund vier Jahren der erste Spatenstich getätigt wurde.

Weitere Gebäude sollen schrittweise folgen und nach und nach in Betrieb gehen. Der Einzug ins neue Büro ist damit ein sichtbarer Meilenstein, aber bislang nicht der Abschluss des Ausbaus. Die zusätzlichen Fertigungskapazitäten lassen also noch etwas auf sich warten. Ein Kunde von Zeiss wird den Fortschritt des Ausbauprojekts ganz besonders aufmerksam beobachten.

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ASML benennt Zeiss selbst als Kapazitätsgrenze

Die Bedeutung des Projekts erschließt sich vor allem aus der Rolle von Zeiss im Liefernetzwerk des niederländischen Anlagenbauers ASML. So heißt es aus dem ASML-Geschäftsbericht von 2025, aus dem Englischen übersetzt: „Die Zahl der Lithografiesysteme, die wir produzieren können, wird durch die Produktionskapazität von Carl Zeiss SMT begrenzt. Das Unternehmen ist einer unserer wichtigsten Zulieferer und unser einziger Lieferant für Linsen, Spiegel, Beleuchtungssysteme, Kollektoren und weitere kritische optische Komponenten, die wir als ‚Optik‘ bezeichnen. Mit Carl Zeiss SMT besteht eine Exklusivvereinbarung. Sollte der Zulieferer nicht in der Lage sein, sein Produktionsniveau aufrechtzuerhalten und zu steigern, könnten wir Aufträge möglicherweise nicht erfüllen.“

Das macht den Ausbau in Oberkochen zu mehr als nur einer gewöhnlichen Investitionsmeldung in den Standort Deutschland. Besonders relevant sind die in Zukunft zur Verfügung stehenden Flächen für die EUV-Lithografie. Die hochpräzisen Spiegel und optischen Systeme von Zeiss bilden einen wesentlichen Bestandteil der EUV-Anlagen von ASML.

Mehr Fläche bedeutet nicht automatisch mehr EUV-Systeme

Aus den genannten 25.000 Quadratmetern lässt sich allerdings nicht ableiten, wie viele zusätzliche Optiken oder ASML-Systeme künftig produziert werden können. Vonseiten Zeiss wird allgemein von Produktionsflächen und produktionsnahen Bereichen gesprochen. Angaben zur Investitionssumme, zur geplanten Steigerung des Ausstoßes oder zum Zeitpunkt der vollständigen Inbetriebnahme macht das Unternehmen nicht.

Zudem ist die Fläche nicht ausschließlich für EUV-Optiken vorgesehen. Zeiss nennt daneben Systeme für die Herstellung, Qualifizierung und Reparatur von Fotomasken sowie Lösungen für Inspektion, Messtechnik, Fehleranalyse und Advanced Packaging. Neue Gebäude allein lösen den Engpass ohnehin nicht. Die Herstellung der Optiken erfordert spezialisierte Anlagen, langwierige Fertigungs- und Prüfprozesse sowie entsprechend qualifiziertes Personal. Bis zusätzliche Fläche in einen höheren und stabilen Ausstoß mündet, dürfte daher Zeit vergehen.

Der Ausbau erhöht die potenzielle Kapazität, beseitigt aber nicht das grundlegende Risiko der Lieferkette. ASML bleibt bei den entscheidenden Optiken von einem einzigen Partner abhängig. Mehr Produktionsfläche bei Zeiss verbreitert die Kapazität – nicht die Lieferantenbasis. Doch das Optikunternehmen versucht ohnehin, seine industrielle Basis breiter aufzustellen. Zusätzliche Kapazitäten werden in Wetzlar (DUV-Fertigung) geschaffen, neue Reinräume in Roßdorf wurden im September 2025 eröffnet. Hinzu kommen Berichten zufolge neue Service-, Logistik- und Entwicklungsstrukturen in Asien und den USA. (sb)

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