Mikrosysteme (MEMS) sind das Rückgrat der Prozessmesstechnik. Doch für die steigenden Anforderungen, getrieben durch die Energiewende, reicht die Mikrometer-Skala oft nicht aus. Wissenschaftler der Hochschule RheinMain (HSRM) haben nun eine Technologieplattform vorgestellt, die Nanostrukturen direkt in MEMS integriert.
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