Halbleiter-Zulieferindustrie Automation und digitaler Zwilling für eine resiliente Komponentenfertigung

Von Bernd Dötterl* 5 min Lesedauer

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Der KI-Boom endet nicht beim Chipdesign, sondern reicht bis tief in die Fertigungskette hinein, wo hochpräzise Komponenten für Halbleiteranlagen entstehen. Für Zulieferer steigen die Anforderungen an Präzision und Prozesssicherheit. Digitale Zwillinge und Automation können helfen, diesen Druck in beherrschbare Abläufe zu übersetzen.

Der digitale Zwilling ermöglicht die realitätsnahe 1:1-Simulation der Bearbeitung. Komplexe Prozesse können so bereits im Vorfeld risikofrei optimiert werden. (Bild:  DMG MORI)
Der digitale Zwilling ermöglicht die realitätsnahe 1:1-Simulation der Bearbeitung. Komplexe Prozesse können so bereits im Vorfeld risikofrei optimiert werden.
(Bild: DMG MORI)

Eine aktuelle Prognose des Technologie-Analysehauses Gartner vom April 2026 erwartet für das laufende Jahr in der Halbleiterindustrie weltweit ein Umsatzwachstum von 64 Prozent auf über 1,3 Billionen US-Dollar. Dies wäre das stärkste prozentuale Wachstum der letzten zwei Jahrzehnte. Als treibende Kräfte hinter dieser rasanten Entwicklung sieht Gartner die hohe Nachfrage nach Prozessoren für künstliche Intelligenz (KI), den Ausbau von Rechenzentren sowie eine signifikante Preisinflation bei Speicherchips – die sogenannte „Memflation“.

Die hohe Wachstumsrate erzeugt einen erheblichen Innovations- und Lieferdruck in der Halbleiterindustrie, der sich durch die gesamte Wertschöpfungskette zieht. Am Ende dieser Kette stehen die Hersteller von hochpräzisen Maschinenkomponenten. Diese Zulieferbetriebe bilden das technologische Fundament für den Bau von komplexen Fertigungsanlagen für die Chipindustrie. Sie befinden sich in einem zunehmenden Dilemma: Einerseits müssen sie die stetig steigenden Anforderungen der Anlagenbauer an Präzision, Materialvielfalt und Prozesssicherheit erfüllen.

Andererseits sind sie mit hohem Kosten- und Zeitdruck, einer geringen Verfügbarkeit an ausgebildetem Personal sowie hohen Anforderungen an eine lückenlose Prozessdokumentation konfrontiert. Wie können Unternehmen ihre Produktion widerstandsfähiger, effizienter und vorhersagbarer gestalten, um in diesem volatilen Hochleistungsmarkt zu bestehen und die aktuellen Marktentwicklungen als Wettbewerbsvorteil zu nutzen?

Vom digitalen Modell zur realen Präzision

Die Lösung liegt in einem ganzheitlichen Ansatz, der die digitale und die physische Welt der Fertigung miteinander verschmilzt. Kern dieses Ansatzes ist die Symbiose aus dem digitalen Zwilling und intelligenten Automationslösungen. Der digitale Zwilling ermöglicht es, ein umfassendes, dynamisches Abbild der realen Fertigungsumgebung inklusive Maschine, Werkstück, Werkzeugen und NC-Programmen zu erzeugen und die komplette Prozesskette virtuell zu simulieren und zu optimieren.

Er schafft eine virtuelle Planungs- und Simulationsebene, auf der der gesamte Bearbeitungsprozess vorab risikofrei getestet wird. Komplexe 5-Achs-Bewegungen werden auf Kollisionen geprüft und Werkzeugwege auf Effizienz getrimmt. Dieser „First Time Right“-Ansatz reduziert die realen Rüstzeiten auf der Maschine auf ein Minimum und eliminiert das Risiko kostspieliger Fehler oder Maschinencrashs bei der Erprobung neuer Programme.

Die intelligente Automation als zweite Säule der Lösung stellt dann die physische Umsetzung dieser digitalen Blaupause auf der Maschine sicher – rund um die Uhr und mit hoher Prozesssicherheit. Sie übernimmt durch moderne Systeme wie Palettenspeicher oder Roboter repetitive Aufgaben und ermöglicht eine mannlose Fertigung. Dadurch werden die Maschinenkapazitäten stetig ausgelastet. Dies steigert den Output erheblich und entlastet das Fachpersonal, das sich auf wertschöpfendere Tätigkeiten konzentrieren kann.

Entscheidend ist dabei die durch Automation erreichte Reproduzierbarkeit. Sie sorgt für eine konstant hohe Bauteilqualität, indem sie variable menschliche Einflüsse im Handhabungsprozess ausschließt. Das volle Potenzial dieser Symbiose zeigt sich jedoch erst in der permanenten Vernetzung. Der digitale Zwilling dient nicht nur der Vorbereitung, sondern auch dem Monitoring des realen Betriebs durch die Echtzeit-Rückführung von Maschinendaten. Abweichungen im Prozess können so sofort erkannt und analysiert werden.

Mithilfe von KI-Algorithmen ist eine vorausschauende Wartung (Predictive Maintenance) möglich, bei der Serviceeinsätze geplant werden, bevor ein Stillstand droht. Diese integrierten Technologien verleihen Unternehmen eine neue Flexibilität. So kann die Einführung neuer Produktvarianten effizient am digitalen Zwilling erfolgen und auf schwankende Losgrößen kann durch die flexiblen, automatisierten Fertigungssysteme dynamisch reagiert werden. Dies stellt im volatilen Halbleitergeschäft einen entscheidenden Wettbewerbsvorteil dar.

Der Weg zum vollständig digitalisierten Wertschöpfungskreislauf

Die konsequente Anwendung des digitalen Zwillings in der Komponentenfertigung schafft die technologische Grundlage für die nächste Stufe der Digitalisierung. Die Vision ist eine Zukunft, in der auch die Halbleiter-Fertigungsanlagen selbst über einen eigenen, umfassenden digitalen Zwilling verfügen. Ein solches virtuelles Abbild einer Lithografie-Anlage oder einer Ätzkammer, gespeist mit Echtzeit-Sensordaten, könnte den komplexen physikalischen und chemischen Prozess der Wafer-Bearbeitung mit hoher Genauigkeit simulieren. Anlagenbetreiber wären in der Lage, unterschiedliche Prozessparameter vor Produktionsbeginn virtuell zu testen und deren Auswirkung auf die Chip-Ausbeute (den sog. „Yield“) zu analysieren, ohne reale Wafer einsetzen zu müssen.

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Ob Paletten- oder Werkstück-Handling: Modulare Automationslösungen lassen sich flexibel an die jeweiligen Anforderungen anpassen, um eine wirtschaftliche Fertigung von kleinen Losgrößen bis hin zur Großserie zu ermöglichen. (Bild:  DMG MORI)
Ob Paletten- oder Werkstück-Handling: Modulare Automationslösungen lassen sich flexibel an die jeweiligen Anforderungen anpassen, um eine wirtschaftliche Fertigung von kleinen Losgrößen bis hin zur Großserie zu ermöglichen.
(Bild: DMG MORI)

Dies würde einen vollständig digitalisierten und geschlossenen Wertschöpfungskreislauf ermöglichen. Der digitale „Lebenslauf“ einer auf einer Maschine gefertigten Komponente, der deren exakte Fertigungsdaten enthält, würde direkt in den Datensatz des digitalen Zwillings der übergeordneten Fertigungsanlage integriert. Die Präzision auf Komponentenebene beeinflusst so direkt die Genauigkeit des Anlagensimulationsmodells. Erkenntnisse aus dem Betrieb der Anlage wiederum könnten als Anforderungsprofil in die Entwicklung neuer Komponenten zurückfließen. Dieser durchgängige Datenfluss, von der Zerspanung des ersten Bauteils bis zur Steuerung des finalen Chipprozesses, repräsentiert eine neue Stufe der industriellen Digitalisierung. In ihr sind Resilienz, Effizienz und Präzision das logische Ergebnis eines datengestützten Gesamtprozesses.

Expertise und integrierte Lösungen für die Halbleiterindustrie

Die Beherrschung dieser digitalen Werkzeuge erfordert einen Partner, der nicht nur die Software, sondern vor allem die physikalischen Anforderungen der Präzisionszerspanung versteht. Aufbauend auf jahrzehntelanger Erfahrung in der Herstellung präziser Werkzeugmaschinen hat DMG MORI ein spezialisiertes Lösungsportfolio entwickelt, das auf die Bedürfnisse der Halbleiter-Zulieferindustrie zugeschnitten ist. Im Rahmen der Machining-Transformation-(MX)-Strategie werden diese Kompetenzen gebündelt.

Die Basis bildet hierbei ein tiefes Prozessverständnis für die Bearbeitung anspruchsvoller Materialien wie technischer Keramik, Quarzglas oder hochfester Legierungen. Diese Expertise fließt direkt in die Auslegung der Bearbeitungszentren – beispielsweise der hochstabilen duoBLOCK-Baureihe – und in die Entwicklung der digitalen Prozesse ein. Der digitale Zwilling von DMG MORI schafft ein präzises Abbild, das auf den realen Kinematiken und der originalen Steuerung der Maschine basiert und so eine validierbare Prozesssicherheit gewährleistet.

Dieses digitale Fundament wird durch ein breites Spektrum modularer Automationslösungen wie das Paletten-Handling (PH) oder das Werkstück-Handling (WH) ergänzt. Diese Systeme werden tief in die Gesamtarchitektur der Fertigungszelle und die zentrale Steuerungsplattform CELOS X integriert. Durch das Zusammenspiel aus digitaler Prozessvorbereitung, präziser Zerspanungstechnologie und autonomer Fertigung unterstützt DMG MORI Fertigungsunternehmen dabei, die geforderte Bauteilqualität prozesssicher zu erreichen, die Produktivität zu maximieren und ihre Wettbewerbsfähigkeit im anspruchsvollen Umfeld der Halbleiterindustrie nachhaltig zu sichern. (sb)

* Bernd Dötterl ist Head of Semiconductor Excellence Center bei DMG MORI.

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