Der Übergang von der optischen Lithographie zur EUV-Lithographie ist voll im Gange. Obwohl einige Probleme noch gelöst werden müssen, ist der Resolution-Enhancement-Technology-Flow bereit.  (Mentor)

EUV-Lithographie ist auf dem Weg in die Großserienfertigung

Ein schneller und genauer Resolution-Enhancement-Technology- (RET) Flow ist ein wichtiger Bestandteil der Großserienfertigung mittels EUV-Lithographie. Tools zur Modellierung einzigartiger EUV- (Extreme Ultra Violet) Effekte, Quellenoptimierung, Verbesserung der Tiefenschärfe und genauen optischen Näherungskorrektur (OPC) sind nun verfügbar.

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