Ein 2-µm-Laser für tiefe Siliziumstrukturen

Halbleiterfertigung Ein 2-µm-Laser für tiefe Siliziumstrukturen

10.11.2026 Quelle: Pressemitteilung 1 min Lesedauer

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Für gestapelte Chips sind Verbindungen erforderlich, die durch das Silizium führen. Ein Team aus Bochum möchte hierfür einen Ultrakurzpulslaser mit einer Wellenlänge von 2 µm und Gigahertz-Bursts als Alternative zum etablierten Trockenätzverfahren DRIE entwickeln.

Prof. Dr. Clara Saraceno (2.v.l.), Leiterin des Lehrstuhls Photonic and Ultrafast Laser Science an der Ruhr-Universität Bochum, und Dr. Celia Millon (1.v.l.), CEO und Gründerin der Ausgründung RayVen.(Bild: RUB / Roland Baege Fotografie) — Prof. Dr. Clara Saraceno (2.v.l.), Leiterin des Lehrstuhls Photonic and Ultrafast Laser Science an der Ruhr-Universität Bochum, und Dr. Celia Millon (1.v.l.), CEO und Gründerin der Ausgründung RayVen.
(Bild: RUB / Roland Baege Fotografie)

Ein Forschungsteam der Ruhr-Universität Bochum (RUB) und das Start-up RayVen wollen einen neuen Ultrakurzpulslaser für die Herstellung von Silizium-Durchkontaktierungen entwickeln. Das Projekt wird im EIC-Pathfinder-Programm des Europäischen Innovationsrats mit insgesamt 3 Mio. Euro über vier Jahre gefördert.

TSVs (Through-Silicon Vias) sind vertikale Verbindungen durch Siliziumchips. Sie verbinden gestapelte Chipschichten elektrisch und sind ein zentraler Baustein bei modernen 3D-Halbleiterarchitekturen. Für ihre Herstellung wird häufig das trockene reaktive Ionenätzen (DRIE) eingesetzt.

Der geplante Laser arbeitet mit einer zentralen Wellenlänge von 2 µm und im Gigahertz-Burst-Modus, bei dem mehrere Pulse in sehr kurzen Abständen aufeinanderfolgen. Ziel ist ein alternativer oder ergänzender Ansatz zu DRIE. Die Projektbeschreibung stellt in Aussicht, dass der Prozess präzisere, schnellere und nachhaltigere Siliziumstrukturen ermöglichen soll. Diese Aussagen sind bislang Projektziele; belastbare Messergebnisse liegen noch nicht vor.

Am Projekt beteiligt sind der Lehrstuhl Photonic and Ultrafast Laser Science der RUB unter Leitung von Prof. Dr. Clara Saraceno, die RayVen GmbH, das französische Centre national de la recherche scientifique (CNRS) sowie die Unternehmen CRYTUR und LASEA. RayVen wurde im März 2025 als Ausgründung der RUB gegründet; CEO und Gründerin ist Dr. Celia Millon. Die Ausgründung wird zusätzlich über das EXIST-Forschungstransfer-Programm des Bundesministeriums für Wirtschaft und Energie gefördert. (heh)

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Stand: 08.12.2025

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