KI-basierte Messtechnik Siemens übernimmt Canopus AI

Von Sebastian Gerstl 2 min Lesedauer

Siemens hat Canopus AI übernommen, um sein digitales Produktangebot für das Design und die Fertigung von Halbleitern durch die Integration zusätzlicher modernster Messtechnologien mit fortschrittlichen KI-Fähigkeiten zu erweitern.

Die Machine-Learning- (ML) und KI-Technologie von Canopus AI für Messtechnik und Inspektion – Messung des Kantenplatzierungsfehlers (EPE) zur Verbesserung der Simulationsmodelle für die Waferherstellung.(Bild:  Siemens EDA / Canopus AI)
Die Machine-Learning- (ML) und KI-Technologie von Canopus AI für Messtechnik und Inspektion – Messung des Kantenplatzierungsfehlers (EPE) zur Verbesserung der Simulationsmodelle für die Waferherstellung.
(Bild: Siemens EDA / Canopus AI)

Siemens hat angekündigt, Canopus AI übernehmen zu wollen, einen Anbieter rechner- und KI-gestützter Messtechniklösungen. Ziel ist, das hauseigene EDA-Softwareportfolio um rechnergestützte Messtechnik und Inspektionen zu erweitern, die Chiphersteller bei der Lösung komplexer technischer Herausforderungen in der Halbleiterfertigung unterstützen sollen .

„Die Übernahme von Canopus AI ist ein Beispiel für das Engagement von Siemens, industrielle KI einzusetzen, um zentrale Herausforderungen in der Halbleiterfertigung zu lösen“, erklärte Tony Hemmelgarn, Präsident und CEO, Siemens Digital Industry Software. „Indem wir die Funktionen rechnergestützte Lithographie und physikalische Fertigungssimulation unseres Calibre-Portfolios mit den modernsten Mess- und Inspektionstechnologien von Canopus AI kombinieren, schaffen wir eine differenzierte, durchgängige EDA-Lösung, die die Genauigkeit gedruckter Wafer-Muster verbessert, die Ausbeute beschleunigt und die Zeit bis zur Serienreife bei hochmodernen Knoten reduziert. Diese Integration bringt unsere Vision eines hochpräzisen digitalen Zwillings in der Halbleiterherstellung weiter voran und ermöglicht die Prozesssteuerung und Maskenentwicklung im Subnanometerbereich.”

„Die Grenzen in Richtung Angström-Ära verschieben”

Canopus AI wurde 2021 gegründet und hat seinen Sitz in Grenoble, Frankreich. Das schnell wachsende Software- und KI-Unternehmen hat sich zum Ziel gesetzt, die Messtechnik und Inspektion von Wafern und Masken zu revolutionieren. Canopus AI ist Vorreiter bei der „Metrospection“, die Mess- und Prüfabläufe mit KI verbessert. Dieses umfassende Software-Framework verspricht, die Diskrepanz zwischen herkömmlicher Wafermesstechnik und Inspektionstechnik zu überwinden und so Chip-Designern und -Herstellern in die Lage zu versetzen, mithilfe von KI die extrem hohen Präzisionsanforderungen hochmoderner Technologieknoten zu erfüllen.

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Canopus AI ist auf massive E-Beam-Messtechnik spezialisiert und bietet großen Datendurchsatz und hohe Genauigkeit für OPC/RET-Anwendungen (Optical Proximity Correction/Resolution Enhancement Technology). Die Lösungen des Unternehmens tragen helfen dabei, eine optimale Lithografie-Leistung zu erzielen und, wie Siemens EDA es ausdrückt, „die Grenzen in Richtung Angström-Ära zu verschieben”. Diese leistungsstarke Plattform ermöglicht:

  • Robuste EPE-basierte Messungen (Edge Placement Error),
  • Frühzeitige Erkennung kritischer Defekte, und
  • Umfassende Charakterisierung von Prozessschwankungen und Stochastik.

„Wir freuen uns sehr, Teil von Siemens zu werden und die Leistungsfähigkeit der KI-gestützten Messtechnik in der Halbleiterindustrie als Mitglied der Siemens EDA-Anwendergemeinschaft einem breiteren Publikum zugänglich zu machen“, freut sich Joël Alanis, Chief Executive Officer von Canopus AI. „Gemeinsam werden wir Innovatoren dabei unterstützen, die Grenzen des Halbleiterdesigns und der Halbleiterfertigung mit robuster Wafer- und Maskenmesstechnik sowie Inspektionstechnik zu verschieben. Zudem werden wir ihnen helfen, die Herausforderungen der sich schnell verändernden Halbleiterbranche zu meistern.“

Die Transaktion wurde am 12. Januar 2026 abgeschlossen, der Vollzug am heutigen Mittwoch (4. Februar 2026) gemeldet. Die Höhe des Transaktionspreises ist nicht bekannt.(sg)

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