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Kraftmesstechnik in der Halbleiterfertigung

Piezo-Kraftsensoren erhöhen Qualität und Produktivität

Kraftmesstechnik in der Halbleiterfertigung

Piezo-Kraftsensoren erhöhen Qualität und Produktivität

24.05.2022

Die physikalische Größe Kraft ist ein kritischer Faktor in zahlreichen Produktionsschritten. Abweichungen können zu Schäden an Mikrochips und fehlerhaften Produkten führen. Erfahren Sie wie Kraft exakt gemessen, überwacht und gesteuert werden kann.

Der Fertigungsparameter physikalische Größe Kraft, welche durch Produktionsabweichungen und/oder mechanischen Stress einen Bauteilausfall verursachen kann, wird mit konventionellen Messmethoden nicht sichtbar. Diese ist aber für die Steuerung und Überwachung von Produktionsprozessen wie Schleifen, CMP, Polieren, Laminieren, Flip Chip, Bonden, Pick-and-Place und vielen weiteren Fertigungsschritten gleichermaßen wichtig.

Dynamische Messtechnik mit Piezoelektrischen Kraftsensoren erlaubt das Messen mit hoher Auflösung und Wiederholgenauigkeit. Dadurch können Abweichungen frühzeitig erkannt und Fehler vermieden werden. Anlagenhersteller können ihre Maschinen optimieren und eine höhere Taktzeit und Genauigkeit erreichen. Der Halbleiterhersteller profitiert von einer besseren Prozesstransparenz, geringeren Qualitätskosten und der Rückverfolgbarkeit der Prozessdaten.

In diesem kostenfreien Webinar lernen Sie:

  • Warum Kraftmessung in der Halbleiterfertigung wichtig ist
  • Welche typischen Applikationen und Referenzen es gibt
  • Wie piezoelektrische Messtechnik genau funktioniert
  • Welchen Wettbewerbsvorteil Ihnen Kraftmessung ermöglicht

Ihre Referenten

Dipl.-Ing.(FH) Jürgen Kromholz

Dipl.-Ing.(FH) Jürgen Kromholz

Regional Sales Manager DACH BU AM
Kistler Instrumente GmbH

Ing. Robert Hillinger

Ing. Robert Hillinger

Business Development Manager
Kistler Instrumente AG Schweiz

Bildquelle: Kistler Instrumente GmbH, Kistler Instrumente AG

Anbieter des Webinars

Kistler Instrumente GmbH ()

Kistler Instrumente GmbH

Umberto-Nobile-Straße 14
71063 Sindelfingen
Deutschland