Interview: Dr. Manuela Junghähnel, Fraunhofer IZM-ASSID „Mein Erfolgsrezept: Arbeit muss sinnstiftend sein“

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Das Fraunhofer IZM-ASSID ist ein Spezialist für hochmoderne 300-mm-Wafer-Verarbeitung. Seit kurzem hat der Dresdner Standort eine neue Leitung: Dr. Manuela Junghähnel. Die studierte Physikern ist eine Gestalterin. Was sie antreibt und was sie erreichen möchte, erläutert sie im Interview mit ELEKTRONIKPRAXIS.

Reinraum am Fraunhofer IZM-ASSID in Dresden: Er bietet eine Fläche von 800 m² plus 220 m² Labor. Der Reinraum verfügt und eine 300- (200-)mm-Wafer-Prozesslinie für die Wafer-Level- 3D-Systemintegration.
Reinraum am Fraunhofer IZM-ASSID in Dresden: Er bietet eine Fläche von 800 m² plus 220 m² Labor. Der Reinraum verfügt und eine 300- (200-)mm-Wafer-Prozesslinie für die Wafer-Level- 3D-Systemintegration.
(Bild: Fraunhofer IZM ASSID)

Das Fraunhofer IZM-ASSID ist ein Institutsteil und steht für „All Silicon System Integration Dresden – ASSID“. Eröffnet wurde es im Jahr 2010 und verfügt über eine Technologielinie von 200 bis 300 mm für die 3D-Wafer-Level-Systemintegration auf der Basis der Kupfer-Through-Silicon-Via- (Cu-TSV-)Technologie. 2020 feierte das Institut sein zehnjähriges Jubiläum. Zwei Jahre später gibt es wieder einen Grund zum feiner: Dr. Manuela Junghähnel wird neue Standortleiterin am Fraunhofer IZM-ASSID. Junghähnel ist studierte technische Physikerin. Ein Gespräch.

Frau Dr. Junghähnel, technische Physik, Plasmatechnik und die Arbeit am Fraunhofer FEP: Erzählen Sie von Ihren beruflichen Weg und was für Sie in Forschung wichtig ist.

Ich bin grundsätzlich davon überzeugt, dass es nicht nur darauf ankommt, dabei zu sein, sondern auch Sachen zu bewegen, ganz ohne Scheu. So habe ich mich auch schon als junge Frau in der Welt der Gegensätze für die Technik entschieden. Außerdem bin ich von einem nicht geradlinigen Lebensweg geprägt; wenn ich den aber nicht so gegangen wäre, wäre ich jetzt auch nicht hier.

Angefangen bei der Berufsausbildung zur Energieelektronikerin für Betriebstechnik in einem Stahlwerk bis hinein ins Studium der technischen Physik war mir auf meinem Bildungsweg immer eins wichtig: Selbstbestimmtes Arbeiten in der Forschung. Nach meinem Studium, Ende der 1990er, sah es in Berlin und Brandenburg gar nicht gut aus mit Chancen auf eine gute Anstellung. Zur Debatte stand damals auch, die Heimat zu verlassen und in den Westen zu gehen. Dann ergab sich die Gelegenheit, in Dresden anzufangen, und ich habe mich fürs Fraunhofer FEP entschieden.

Vor allem weil das Institut aus dem ehemaligen Manfred-von-Ardenne-Institut hervorging, welches das einzige private Forschungsinstitut in der DDR war, und damit eine lange exzellente Historie in Bezug auf Elektronenstrahl- und Plasmaverfahren vorweisen konnte. Die Plasmatechnik hatte zu dieser Zeit gerade einen riesigen Innovationsschub erfahren und die Wissenschaftler am Fraunhofer FEP waren so unfassbar motiviert und stolz auf die international hochangesehenen Technologien, die sie entwickelten.

Ein Teil dieses Teams zu werden, fand ich extrem spannend und interessant. Mein Ziel habe ich insofern erreicht, und schließlich war ich dann fast 23 Jahre am Fraunhofer FEP. Dabei war es immer mein Wunsch und Ziel, mitzugestalten, was die Themen von morgen werden und auf welche Forschungsfelder wir setzen. Von Beginn meiner Berufsausbildung an bis heute sind mir diese Aspekte wichtig: Entwicklung, Innovation, Diversität, Sinnhaftigkeit, Leben der Gegensätze und Flagge zu bekennen.

Leitung ist für Sie also kein Neuland. Sie haben schon einige Wissenschaftler begleitet und ihren Werdegang gefördert. Was ist ihr Erfolgsrezept und wie können Sie es in Dresden-Moritzburg umsetzen?

Ich selbst bin ziemlich stark geprägt von strukturübergreifendem Zusammenarbeiten. Im Grunde bin ich Netzwerkerin, arbeite gerne im Team, und wenn das Team gut ist und effizient zusammenarbeitet, ist man auch erfolgreich. Am Fraunhofer FEP konnte ich das sehr gut umsetzen: Ich war dort zuletzt Abteilungsleiterin von drei sehr erfolgreich arbeitenden Gruppen.

Mit der Zeit habe ich gemerkt, dass mir die Forschungsfelder und der Aktionsradius zu eng wurden. Es kam das Angebot des Fraunhofer IZM-ASSID. Parallel dazu habe ich die Kollegin Dr. Wenke Weinreich vom Fraunhofer IPMS kennengelernt. Gemeinsam sind wir mittlerweile Sprecherinnen dieser Class und hoffen, einiges am Standort Sachsen in Bezug auf die 300-mm-Wafertechnologien bewegen zu können. Wenke Weinreich ist die Standortleiterin des Fraunhofer IPMS-CNT sowie stellvertretende Institutsleiterin des IPMS. Gemeinsam haben wir vor kurzem die feierliche Eröffnung neuer Reinräume des CNT und die Eröffnung des „300 mm Centers for Advanced CMOS & Heterointegration“ zelebriert.

Mein Erfolgsrezept: Arbeit muss sinnstiftend sein. Wenn der Zweck, die Aufgaben und die Verantwortlichkeit nicht klar sind oder nicht gut kommuniziert werden, kann man auch nicht gut lösungsorientiert und erfolgreich arbeiten. Man muss also eine entsprechende Atmosphäre und Kultur schaffen sowie ein Gefühl dafür entwickeln, was die Mitarbeiter bewegt. Der Erfolg wird fast nie von Einzelnen geschaffen, sondern ist ein Gesamtwerk des Teams.

Sie bringen bereits viel Erfahrung auf dem Gebiet der Wafer-Level-Systemintegration mit, aber auch aus anderen Bereichen. Was ist Ihnen besonders wichtig für die nächsten zehn Jahre des Fraunhofer IZM-ASSID?

Die gegenwärtigen Entwicklungen und Aktivitäten in der Mikroelektronik sind hoch relevant für das Fraunhofer IZM-ASSID. Die Sicherung des Elektronikstandorts Europa und die Steigerung der Chip-Produktion hier, auch mit einem Blick auf Sachsen als Hotspot: Das sind Themen, die wir aktiv mitgestalten.

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In der Halbleiterbranche sind die Zyklen deutlich kürzer als in anderen Branchen. Wir sind immer davon getrieben, dass wir analog zur Forderung nach neuesten Technologien und Entwicklungen auch über die entsprechende Ausstattung und Infrastruktur verfügen. Ich möchte den Betrieb am jetzigen Standort komplett sichern und die vorrangig aus der Industrie kommenden Kunden weiter bedienen; zum anderen möchte ich weiter investieren und das IZM-ASSID für die Zukunft bestmöglich aufstellen. Es geht um hochdichte Integration, höherer Präzision, neuen Materialien, neuen Anwendungen wie High Performance oder Quantencomputing.

Unabhängig davon werden wir den hohen Anteil an Industrieprojekten, Pilotfertigung, Aufskalierung und Technologieentwicklung weiter bedienen, weil hier die Nachfrage seitens der Industrie extrem hoch ist. Hier muss die entsprechende Infrastruktur und Labortechnik bereitgestellt werden. Dazu notwendig sind Fachkräfte. Doch die Konkurrenz ist mit Unternehmen wie Bosch, Infineon und Globalfoundries in der Nachbarschaft groß.

Ich habe die Erfahrung gemacht, dass Mitarbeiter höher motiviert sind, wenn man ihnen Verantwortung überträgt. Vertrauen und das Gefühl, sich gegenseitig aufeinander verlassen zu können, sind wichtige Eckpfeiler für eine erfolgreiche Zusammenarbeit.

Sie sind eine Teamplayerin mit Verantwortung. Welche strategischen Ziele haben Sie sich für den Standort gesetzt?

Wachsen ist auf jeden Fall Zukunft. Mein Vorgänger Jürgen Wolf hat das IZM-ASSID zu einem sehr erfolgreichen und international renommierten Institutsteil aufgebaut. Aber am jetzigen Standort haben wir keinen Platz mehr, weder in der Prozesslinie noch in den Büros. Mit der Erweiterung am zweiten Standort beim Fraunhofer IPMS-CNT gehen wir eine institutsübergreifende Zusammenarbeit an.

An diesem Standort gibt es eine Reinraumfläche von 900 Quadratmetern. Wir haben bereits ein Konzept für Investitionen, um den gegenwärtigen und zukünftigen Anforderungen besser gerecht zu werden. In diesem Sinne verstehe ich auch Fraunhofer: Für die Industrie entwickeln, erproben, optimieren, und in Kleinserie fertigen. Das werden wir mit der Erweiterung des IZM-ASSID besser umsetzen können. Hochpräzise Bondtools, aber auch Equipment für die Lithographie und PVD, sowie die Möglichkeiten der Erprobung neuer Materialien spielen dabei beispielsweise eine wichtige Rolle. Dass wir Packaging-Technologien auf 300-mm-Wafern entwickeln, sehe ich innerhalb von Fraunhofer als ein Alleinstellungsmerkmal des IZM-ASSID.

Die Eröffnung des Centers for Advanced CMOS & Heterointegration Saxony war ein Highlight, welches bereits bekannt ist. Wie wird das Fraunhofer IZM-ASSID hier teilhaben und davon profitieren?

Die beiden Partner haben unterschiedliche Kompetenzen: Wir am IZM-ASSID sind die 300-mm-Spezialisten beim Backend-Prozessierung von Wafer-Systemintegration, Assembly, Bonden, 3D-Intergration wie TSVs bis hin zu Interconnects Formation. Es gibt auch andere vorgelagerte Prozesse. Dazu gehören aktive Bauelemente, energieeffiziente oder nichtflüchtige Speicher.

Fraunhofer IZM-ASSID und IPMS-CNT – beide sind bundesweit einzigartige FuE-Einrichtungen auf dem Gebiet der Mikroelektronik. Mit dem Center bündeln wir unsere F&E-Aktivitäten auf Basis von 300-mm-Wafer-Industrie-Standardequipment und die Kompetenzen für Frontend-, Backend-Technologien sowie Wafer-Level-Systemintegration und vervollständigen die Wertschöpfungskette.

Sie sind schon seit über einem Jahr in der stellvertretenden Leitung am Standort tätig. Welchen Eindruck konnten Sie sich bisher machen – auch von den wissenschaftlichen Erfolgen Ihres Vorgängers Jürgen Wolf?

Zum einen gibt es langfristige Kooperationen: Dabei ist das Fraunhofer IZM-ASSID bekannt, eine entsprechende Qualität und Funktionalität zu liefern. Wir müssen sicherstellen, dass das in Zukunft so bleibt.

Was wir noch ausbauen können, ist die Sichtbarkeit der Wissenschaftlichkeit des IZM-ASSID. Dafür werden wir gemeinsam Konzepte entwickeln, um deutlicher zu zeigen, in welchem Bereich wir Forschungsexzellenz besitzen. Hierzu gehört der Ausbau von Kooperationen zu den Hochschulen wie zur TU Dresden.

Es existieren bereits Pläne, wie wir um junge Leute wachsen können. Dazu gehören Themen für Abschlussarbeiten sowie deren Betreuung. Bezogen auf Promotionen würde ich mir wünschen, jedes Jahr eine Promovierende oder einen Promovierenden einstellen und eine Art rollendes System zu etablieren. Des Weiteren müssen wir in der Organisation einiges anpassen.

Sie arbeiten schon viel länger bei Fraunhofer als nur das letzte Jahr. Was reizt Sie an Fraunhofer und warum sollten sich junge Wissenschaftler bewerben?

Aus meiner Sicht ist das ganz klar der Gestaltungsfreiraum. Fraunhofer ist renommiert, international bekannt und steht für wissenschaftliche Kompetenz und Exzellenz. Fraunhofer ist zudem ein moderner Arbeitgeber und bietet attraktive Arbeitsbedingungen.

Darüber hinaus kann man sich bestens persönlich weiterentwickeln und selbständig arbeiten. Fraunhofer bietet sehr gute und vielfältige Karrieremöglichkeiten auf den unterschiedlichsten Ebenen. Wir forschen anwendungsorientiert und nicht für die Schublade. Viele Industrieprojekte sind Entwicklungen für und münden direkt in Produkte.

Kurz hinter die Fassade der Leiterin geschaut: Internationale Kunden, Termine und Deadlines. Was ist Ihr Ausgleich und wann forschen Sie noch?

Momentan forsche ich nicht selbst, aber ich bin weiter aktiv in meinen Forschungsfeldern und in meinem Netzwerk. Vielmehr versuche ich derzeit auszuloten, wie ich meine Kompetenzen bezüglich der Dünnschicht-, Plasma- und flexiblen Glastechnologien einbringen kann. Die Idee ist zu eruieren, wie die Prozesse in die Aktivitäten in unserem Haus eingebunden werden können. Erste Ideen versuchen wir bereits in zukünftige Projekte zu integrieren.

Ansonsten bin ich ein ausgeprägter Familienmensch und freue mich, wenn wir zuhause alle zusammenkommen und jeder erzählt, was der Tag gebracht hat. Mein Freundeskreis ist ebenfalls ein absoluter Ausgleich. Wenn Zeit bleibt, lese ich gern, ich interessiere mich für Kultur und Kunst, gehe gern in klassische Konzerte, aber auch einfach mit Freunden zum Essen, oder wie jetzt im Sommer in den Biergarten.

Ich wünsche mir für die Zukunft mehr Frauen in Führungspositionen. Das ist mir ein wichtiges Anliegen. Hierzu bin ich in einigen Netzwerken engagiert. Und ich würde mich freuen, wenn Frauen deutlich mehr Mut aufbringen würden, Verantwortung zu übernehmen. Eine Portion Mut gehört dazu.

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