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MEMS-Sensoren Eine Schlüsseltechnik für die bewegte Welt

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Kleine Teile, große Wirkung: Sie retten Leben, erhöhen den Fahrkomfort, helfen beim Energie sparen und sorgen für Unterhaltung. MEMS-Sensoren sind eine Schlüsseltechnologie für die bewegte und vernetzte Welt.

Fertigungsjubiläum bei Bosch: 5 Mrd. MEMS-Sensoren hat Bosch seit dem Großserienstart 1995 gefertigt. Sie erfassen kleinste physikalische Größen, sind aber dennoch höchst robust und lassen sich kostengünstig in großen Stückzahlen fertigen. Aktuell produziert Bosch täglich mehr als vier Millionen Stück.
Fertigungsjubiläum bei Bosch: 5 Mrd. MEMS-Sensoren hat Bosch seit dem Großserienstart 1995 gefertigt. Sie erfassen kleinste physikalische Größen, sind aber dennoch höchst robust und lassen sich kostengünstig in großen Stückzahlen fertigen. Aktuell produziert Bosch täglich mehr als vier Millionen Stück.
(Bild: Bosch)

Im Werk Reutlingen hat Bosch nunmehr fünf Milliarden MEMS-Sensor produziert und den zugrunde liegenden Halbleiter-Fertigungsprozess selbst entwickelt. Hergestellt werden die Sensoren in MEMS-Technologie (MEMS steht für Mikro-Elektromechanisches System) seit 1995 in Großserie.

„Seit 20 Jahren entwickeln wir die intelligente Technik für immer mehr Bereiche des Lebens weiter“, konstatiert Dr. Dirk Hoheisel, Geschäftsführer der Robert Bosch GmbH, „die ersten Varianten wurden im Kraftfahrzeug eingesetzt und ermittelten Druck und Beschleunigungen. Mittlerweile gehen 75 Prozent aller Sensoren in die Unterhaltungselektronik. Jedes zweite Smartphone nutzt Sensorik von Bosch.“

Das Unternehmen ist nach eigenen Angaben weltweit führender Hersteller von MEMS-Sensoren. Mit dem Start der Großserienfertigung 1995 legte Bosch den Grundstein für die moderne Technik. Das aktuelle Portfolio umfasst Beschleunigungs-, Drehraten-, Massenfluss-, Druck- und Umweltsensoren sowie Mikrofone. Die erste Milliarde MEMS-Sensoren fertigte das Unternehmen in 13 Jahren. Inzwischen fertigt der Bosch-Geschäftsbereich Automotive Electronics die gleiche Menge in weniger als einem Jahr in der Produktionsstätte in Reutlingen bei Stuttgart.

Das zeigt die immens steigende Nachfrage. Heute werden täglich mehr als vier Millionen Sensoren gefertigt. Die kleinen Bauteile sind im Durchschnitt zwischen einem und vier Millimeter dünn. MEMS-Sensoren lassen sich vielfältig einsetzen. So erfasst der Sensor SMI700 Drehbewegungen, Querbeschleunigungen und die Neigung des Fahrzeugs. Er ist das Herzstück des Schleuderschutzes ESP, der das Auto in kritischen Situationen wesentlich sicherer in der Spur hält.

Ein anderer Sensor, SMP480, sorgt für Laufruhe im Motor und optimiert darüber hinaus das Luft/Kraftstoff-Gemisch im Motor bei wechselnden Umgebungen. Der Kraftstoffverbrauch sinkt, das Abgas wird sauberer.

Bosch gründete 2005 die hundertprozentige Tochter Bosch Sensortec GmbH. Sie bietet eine Vielzahl von MEMS-Sensoren und Lösungen für Anwendungen im Bereich der Unterhaltungselektronik wie etwa Smartphones, Tablets oder Wearables.

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