Europäische More-than-Moore-Pilotlinie in Dresden etabliert

04.07.2019

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Fraunhofer-Institut fuer Photonische Mikrosysteme

Das im Rahmen der europäischen Technologie-Initiative ECSEL geförderte Projekt ‚ADMONT ist erfolgreich beendet worden. Ziel des Projektes war die Etablierung einer leistungsfähigen und flexiblen More-than-Moore-Pilotlinie für Europa am Standort Dresden.

Mitgliedstaaten des europäisches ECSEL Projekt ADMONT: Ziel des Projektes war die Etablierung einer leistungsfähigen und flexiblen More-than-Moore-Pilotlinie für Europa am Standort Dresden.
(Bild: ADMONT)

Damit Mikroelektronik noch intelligenter wird, setzen Hersteller darauf, immer mehr Funktionen auf immer kleiner werdenden Chips zu integrieren. Zu diesen More-than-Moore-Technologien (MtM) gehören beispielsweise unterschiedlichste mikromechanische und optische Sensoren sowie Aktoren, Ultrahochvolt-Bauteile oder 3D-integrierte Elemente.

Um in Europa einen Standort für solche Technologien zu schaffen, wurde vor gut vier Jahren das Förderprojekt der europäischen Technologie-Förderinitiative ECSEL (Electronic Components and Systems for European Leadership) mit dem Namen ADMONT – Advanced Distributed Pilot Line for More-than-Moore-Technologies (MtM) ins Leben gerufen.

Mit dem Aufbau einer Pilotlinie, deren Technologiemodule nicht in einem Reinraum lokalisiert, sondern über verschiedene Partner am Standort Dresden verteilt sind, sollte potenziellen Kunden aus einer Hand eine offene Technologieplattform entlang der gesamten Wertschöpfungskette vom Siliziumwafer bis zum fertigen System am Standort Dresden angeboten werden.

„Admont kombiniert vorhandene Expertise, technologische Fähigkeiten und Herstellungskapazitäten aus Industrie und von Forschungseinrichtungen in einer durchgängigen MtM-Plattform“, erklärt Projektleiter Dr. Karl-Heinz Stegemann von X-FAB Dresden. „Dank Admont kann X-FAB seinen Foundry-Kunden erweiterte Dienstleistungen wie Technologien für Sensoren und MEMS-Bauelemente des Fraunhofer IPMS, OLED-on-CMOS-Integration des Fraunhofer FEP und Möglichkeiten am Fraunhofer IZM zur 2.5D- und 3D-Integration zur Verfügung stellen, etwa im Bereich der Hochvoltbauelemente, der Sensor Interfaces, neuer IP-Blöcke, Modelle zur Simulation der Transistorlebensdauer, ein zuverlässiges Metallisierungsmodul und ein erweitertes PDK (Process & Design Kit)“.

Lokale nähe sorgt für schnelle Fertigungsabläufe

Dr. Stegemann ist überzeugt, dass die lokale Nähe der einzelnen Reinräume kurze Durchlaufzeiten und schnelle Fertigungsabläufe ermöglicht. ADMONT fungiert so als Bindeglied zwischen Forschung und Produktion und stärkt die internationale Wettbewerbsfähigkeit der europäischen Mikro- und Nanotechnologie.

Das EU ECSEL Förderprojekt ADMONT ist offiziell am 30. April 2019 erfolgreich zu Ende gegangen. Im Ergebnis wurde nicht nur die Grundidee der durchgehenden Wertschöpfungskette mit der Entwicklung von Prozessmodulen sowie ersten Prototypen und Demonstratoren eindrucksvoll umgesetzt. Die enge Zusammenarbeit zwischen dem Industriepartner X-FAB Dresden und drei Fraunhofer-Instituten in einem Projekt hat auch zu einer neuen Qualität in der wissenschaftlich-technischen Zusammenarbeit geführt.

Aktuell laufen Diskussionen, diese enge Zusammenarbeit im Rahmen von EU-Folgeprojekten (unter ECSEL) und unter dem Dach der Forschungsfabrik Mikroelektronik Deutschland fortzusetzen. Zukünftige Anwendungsfelder der virtuellen Pilotlinie ADMONT könnten dabei vor allem in der Industrieelektronik und Medizintechnik zu finden sein.

Hintergrund zum Projekt ADMONT

ADMONT ist eine zur Hälfte von der Europäischen Kommission und zur andern Hälfe von den beteiligten Mitgliedsstaaten finanziell unterstütze ‚Innovation Action‘ von ECSEL. Die nationale Förderung für sächsische Projektpartner tragen Bund und Freistaat Sachsen wiederum jeweils zur Hälfte. Die Projektlaufzeit war auf 4 Jahr vom 1.5.2015. - 30.4.2019 geplant. Die X-FAB Dresden mit Dr. Karl-Heinz Stegemann als Projektverantwortlichem und Koordinator leitet das Gesamtprojekt. Im EU-Verbundprojekt ADMONT sind neun Industriepartner, fünf KMU’s und zwei Forschungseinrichtungen (FhG mit fünf Instituten) aus sechs Ländern vertreten.