High-NA-EUV-Lithografie ASML-Fertigungsmaschinerie soll nach China gelangt sein

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Das US-Handelsministerium hat ASML darauf hingewiesen, dass High-End-Fertigungstechnologie des niederländischen Anbieters trotz Exportverbot nach China gelangt sein soll. ASML weist die Vorwürfe zurück.

Der niederländische Halbleiterausrüster ASML sieht sich mit neuen Vorwürfen aus Washington konfrontiert. Nach einem Bericht von Bloomberg soll US-Handelsminister Howard Lutnick gegenüber der Unternehmensführung Bedenken geäußert haben, dass eine der modernsten EUV-Lithografieanlagen nach China gelangt sein könnte.

EUV-Systeme gelten als Schlüsseltechnologie für die Herstellung besonders fortschrittlicher Halbleiter. Sie werden unter anderem von Auftragsfertigern wie TSMC genutzt, um Hochleistungsprozessoren für Kunden aus den Bereichen KI, Rechenzentren und Unterhaltungselektronik zu produzieren. ASML ist der weltweit einzige Hersteller solcher Anlagen.

Die Ausfuhr von EUV-Systemen nach China ist seit Jahren untersagt. Sollte sich der Verdacht bestätigen, wäre dies ein schwerwiegender Verstoß gegen die von den USA vorangetriebenen Exportbeschränkungen. Unklar ist laut Bloomberg jedoch, welche Belege Washington für die Vorwürfe hat und was die US-Regierung konkret von ASML verlangt.

ASML bestreitet Lieferung und Betrieb in China

ASML weist die Vorwürfe entschieden zurück. Das Unternehmen erklärte, es habe niemals eine EUV-Anlage nach China geliefert. Auch Komponenten, Module oder Spezialausrüstung, die eigens für EUV-Systeme bestimmt seien, seien nicht dorthin exportiert worden.

Zur Untermauerung seiner Position verweist ASML dem Bericht zufolge auf interne Dokumente, die in Washington verbreitet wurden. Demnach seien weltweit 314 EUV-Systeme in Betrieb und 26 außer Dienst gestellt, keines davon befinde sich in China. Zudem könne ASML Unterbrechungen, ungewöhnliches Verhalten oder Verbindungsverluste im EUV-Bestand automatisch erkennen.

Auch die technische Komplexität der Anlagen spricht nach Darstellung des Unternehmens gegen einen unbemerkten Transfer. EUV-Systeme sind etwa so groß wie ein Schulbus, wiegen rund 180 Tonnen und erfordern spezialisierte Wartung durch ASML. Kunden könnten solche Anlagen deshalb nicht ohne Beteiligung des Herstellers abbauen, transportieren und an einem anderen Ort wieder in Betrieb nehmen.

Exportstreit belastet das Umfeld

Der Vorgang trifft ASML in einer angespannten geopolitischen Lage. Die USA drängen die Niederlande und Japan seit Jahren zu strengeren Beschränkungen für Chipfertigungsausrüstung nach China. Neben EUV-Systemen stehen inzwischen auch bestimmte DUV-Anlagen sowie Wartungs- und Supportleistungen stärker im Fokus.

Für China ist der fehlende Zugang zu EUV-Technologie eine zentrale Hürde beim Aufbau modernster Chipproduktion. Zugleich machen chinesische Hersteller Fortschritte mit älteren Anlagen und eigenen Verfahren. Das könnte erklären, warum Washington besonders sensibel auf mögliche Hinweise zu ASML-Technologie in China reagiert.

ASML betont, alle geltenden Exportregeln einzuhalten und regelmäßig mit Regierungen im Austausch zu stehen. Der Konzern erklärte zugleich, bereits mehrere unbegründete Gerüchte über Verstöße im China-Geschäft widerlegt zu haben. Sollte es ASML nicht gelingen, die Bedenken der US-Regierung auszuräumen, könnte der Fall die Beziehungen zwischen den USA, den Niederlanden und der EU weiter belasten.(sg)

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