Eine moderne Industrie ist ohne Halbleiter, Sensoren und optische Bauelemente mit Mikro- und Nanostrukturen undenkbar. Zur Erzeugung von Mikro- und Nanostrukturen auf Substraten wird zunehmend das Verfahren der direktschreibenden, maskenlosen Laserlithografie verwendet. Die Anlagen müssen ihre Aufgaben präzise, leistungsgerecht und zuverlässig erfüllen. Wie ein Komplettpaket mit Pneumatik-Komponenten, Ionisierer und Chiller die Balance bezüglich Preis-Leistungs-Verhältnis und Energieverbrauch schafft, verdeutlicht ein Kundenprojekt von SMC.
Weiterlesen