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Patentierte Anlagentechnik
Kernpunkte der patentierten Anlagentechnik sind die Art der Wärmeübertragung und die Anordnung der Prozesskammern. Die Wärme wird durch höhenjustierbare Heizplatten übertragen, welche mit konstant höherer Temperatur betrieben werden. Die tatsächliche Temperatur der Baugruppe wird dabei kontinuierlich über einen Sensor am Substrat erfasst und für die Regelung verwendet. Die Wärmeeinbringung und somit der Aufheizgradient wird über den Abstand zwischen der Heizplatte und dem Substrat geregelt. Bei dem anschließenden Kühlprozess in einer nachfolgenden Kammer wird die Wärme aus dem Substrat, über eine ebenfalls höhenjustierbare Kühlplatte, mit geregeltem Gradienten abgeführt. Die Prozesskammern sind in Reihe installiert und durch vakuumfeste Schieber hermetisch abgedichtet.
So läuft der Vakuum-Lötprozess ab
Kammer 1: Vorheizen

Nach dem Einschleusen eines Werkstückträgers wird die Kammer zunächst evakuiert und mit Stickstoff gespült, um eine inerte Atmosphäre zu schaffen. Gleichzeitig werden der Temperatursensor und die Heizplatte angehoben, in Kontakt zum Substrat gebracht und der Heizprozess beginnt. Nach Erreichen der Vorheiztemperatur wird die Heizplatte abgesenkt und der Werkstückträger in die nächste Kammer transportiert.
Kammer 2: Löten

Der Heizprozess über Kontaktwärme wird in inerter Atmosphäre weitergeführt. Bereits während des Heizvorganges wird Vakuum zur sicheren Beseitigung von Lunkern eingesetzt. Dies hat den Vorteil, dass der gesamte Lötprozess im üblichen Zeitrahmen für Reflow-Prozesse abläuft und nicht, wie bei anderen Verfahren unvermeidbar, durch den Vakuumprozess verlängert wird. Nach Abschluss des Heizvorganges wird der Werkstückträger in die nächste Kammer zur Kühlung transportiert.
Kammer 3: Kühlen

Gekühlt wird in inerter Atmosphäre. Dabei wird ebenfalls die Temperatur am Substrat erfasst, die Kühlplatte in Kontakt gebracht und die Substrate werden mit einem geregelten Gradienten gekühlt. Alle Prozessschritte werden kontinuierlich überwacht und die Daten zur Qualitätsüberwachung und Rückverfolgbarkeit aufgezeichnet.
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