Halbleiterinnovationen aus der Wiege des Silicon Valley

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Der erste planare IC und weitere innovative Entwicklungen

Die ersten Entwicklungen der planaren Siliziumtechnologie basierten auf der (heute weitgehend vergessenen) bipolaren RTL-Logik, die bei Fairchild seit 1957 in der Entwicklung war. Das erste von Fairchild vermarktete Produkt in der Resistor-Transistor Logic war ein Set/Reset Flip/Flop als monolithische Lösung. 1963 folgte eine Dual-Gate-Schaltung mit vergrabenem Layer (buried layer) zur Isolation – auch ein First der IC-Technologie. 1964 kam der erste npn-Leistungstransistor in Planarausführung, mit Dünnschicht-Emitter-Widerstand.

Weitere Industriepremieren folgten: 1965 entstand bei Fairchild der erste integrierte Operationsverstärker (OpAmp) µA709, als Verzweigung der Firmenstrategie in die analoge Schaltungstechnik. 1968 folgte ein OpAmp mit integrierter Temperaturkompensation und MOS-Kondensatoren. Das erste Standard-TTL-Produkt lancierte Fairchild 1966 in Gestalt eines Quad-Nand-Gate mit zwei Eingängen – ebenfalls ein Klassiker der IC-Geschichte. 1967 entstand das erste kundenspezifische DTL-Logik-Array mit 32 Gattern. Dazu wurde bei Fairchild ein zweilagiger Metallisierungsprozess entwickelt, ebenfalls ein Novum der integrierten Logik.

„Silicon Valley“ wird Industrie-Modell

Damit hatten Noyce und Moore die Evolution der Siliziumchips angestoßen. Für Fairchild begann ein Goldenes Zeitalter mit stürmischem Wachstum und schneller Entwicklung auch der Prozess- und Test-Technologie. Viele neue Mitarbeiter, Fertigungs-, Marketing- und Rechts-Experten wie Charles Sporck, Don Valentine, Jerry Sander, Marshall Cox, Bernie Marren, Floyd Kvamme, Bob Widlar, Roger Borovoy und viele andere trugen zu dieser Dynamik bei – wie auch zur neuen, nonchalanten, aber dennoch erfolgshungrigen Unternehmenskultur des Silicon Valley, als Kontrapunkt zum etablierten Ostküsten-Business. Viele von ihnen stiegen im weiteren Verlauf der Dekade selbst zu Silicon-Valley-Pionieren auf.

Mitte der Sechziger Jahre war Fairchild Semiconductor ein 130-Mio.-Dollar-Unternehmen, die Mitarbeiterzahl betrug 12.000. Mitte der Sechziger Jahre war Fairchild Semiconductor zu einem 130-Mio.-Dollar-Unternehmen gewachsen, die Mitarbeiterzahl betrug 12000. Seit 1962 bestand ein Zweigwerken in South Portland, im US-Staat Maine und eine Assembly-Plant in Hongkong.

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