Halbleiterentwicklung ASML und imec schließen strategische Partnerschaft zu Forschung und Nachhaltigkeit

Von Sebastian Gerstl 2 min Lesedauer

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Der niederländische Halbleiterfertigungsanlagenhersteller ASML und das belgische Forschungsinstitut imec sind eine strategische Partnerschaft eingegangen. Über die nächsten fünf Jahre hinweg will man gemeinsam Lösungen für die europäische Halbleiterindustrie erarbeiten, um Initiativen für nachhaltige Innovation voranzutreiben.

Luc Van den hove, CEO und Präsident des belgischen Forschungsinstituts imec (links) und Christophe Fouquet, CEO des niederländischen Anlagenspezialisten ASML (rechts), bei der Unterzeichen der strategischen Vereinbarung.(Bild:  Michel de Heer / imec)
Luc Van den hove, CEO und Präsident des belgischen Forschungsinstituts imec (links) und Christophe Fouquet, CEO des niederländischen Anlagenspezialisten ASML (rechts), bei der Unterzeichen der strategischen Vereinbarung.
(Bild: Michel de Heer / imec)

Die Zusammenarbeit umfasst das gesamte Produktportfolio von ASML, wobei der Schwerpunkt auf der Entwicklung von High-End-Knoten liegt. Dabei sollen insbesondere ASML-Systeme wie 0,55 NA EUV, 0,33 NA EUV, DUV-Immersion, YieldStar-Optikmesstechnik und HMI-Einzel- und Mehrstrahltechnologien zum Einsatz kommen.

Diese Tools werden in der hochmodernen Halbleiter-Pilotlinie von imec installiert und in die von der EU und Flandern finanzierte NanoIC-Pilotlinie integriert. Dadurch soll dem internationalen Halbleiter-Ökosystem die fortschrittlichste Infrastruktur für Forschung und Entwicklung zur Verfügung gestellt werden, die im Sub-2-nm-Bereich existiert.

Zu den Schwerpunkten der Forschung und Entwicklung sollen auch Siliziumphotonik, Speicher und fortschrittliche Verpackung gehören. Ziel ist es, umfassende Innovationen für zukünftige halbleiterbasierende KI-Anwendungen in verschiedenen Märkten zu ermöglichen.

Die Kollaboration zwischen ASML und imec soll auch einen bedeutenden Beitrag zur Finanzierung innovativer Ideen und Aktivitäten leisten, die einen Nutzen für die Umwelt und die Gesellschaft bringen. Dies treibt insbesondere Finanzierungs- und Start-Up-Förderungsinitiativen wie imec.xpand weiter voran.

„Diese Vereinbarung markiert den nächsten Schritt in der langjährigen Zusammenarbeit zwischen ASML und imec“, kommentiert Christophe Fouquet, Präsident und CEO von ASML. „Sie signalisiert unsere gemeinsamen Ambitionen, Lösungen für die Halbleiterindustrie zu entwickeln, und passt zu unserer Strategie, in Technologie und Innovation zu investieren, die der Gesellschaft insgesamt zugutekommen werden.“

„Wir freuen uns, unsere langjährige einzigartige Partnerschaft mit ASML fortzusetzen und der Branche seit über 30 Jahren Zugang zu den fortschrittlichsten Musterlösungen zu bieten“, erklärt Luc Van den hove, Präsident und CEO von imec. „Durch die Einbeziehung des gesamten Produktportfolios von ASML können wir die Fähigkeiten unserer Pilotlinie erweitern und weiter ausbauen und dem gesamten Halbleiter-Ökosystem die fortschrittlichste Forschung und Entwicklung zur Verfügung stellen, um die Herausforderungen des KI-gesteuerten technologischen Fortschritts zu bewältigen. Da imec einen starken Fokus auf nachhaltige Innovation legt, ist es eine großartige Ergänzung, dass dies ausdrücklich in unsere Partnerschaft aufgenommen wurde.“

Die Investition von ASML in die Partnerschaft wird durch Mittel ergänzt, die vom Chips Joint Undertaking und der flämischen Regierung (für die Realisierung der EU-Chips-Act-NanoIC-Pilotlinie) sowie von der niederländischen Regierung (als wichtiges Projekt von gemeinsamem europäischem Interesse) bereitgestellt werden. Die Anschaffung und der Betrieb der NanoIC-Pilotlinie werden gemeinsam vom Chips Joint Undertaking über die Programme „Digital Europe“ (101183266) und „Horizon Europe“ (101183277) der Europäischen Union sowie von den teilnehmenden Staaten Belgien (Flandern), Frankreich, Deutschland, Finnland, Irland und Rumänien finanziert.

Die Bereitstellung der 0,55-NA-Technologie bei imec war Teil des Next Gen-7A-Projekts (IPCEI22201), das von der niederländischen Regierung als wichtiges Projekt von gemeinsamem europäischem Interesse (IPCEI) finanziert wurde. (sg)

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