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Ausbau der NanoIC-Pilotlinie Zeiss SMT und imec verlängern Zusammenarbeit bis 2029

Von Sebastian Gerstl 2 min Lesedauer

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Das belgische Halbleiterforschungszentrum imec und Carl Zeiss Semiconductor Manufacturing Technology haben ihre strategische Zusammenarbeit bis zum Jahr 2029 verlängert. Ziel ist, Forschung, Entwicklung und Fertigung von Halbleitern im Sub-2nm-Bereich weiter voranzutreiben.

Zeiss-Beleuchtungssystem für High-NA-EUV-Lithografie. Die fortschrittliche Belichtungstechnologie, die unter anderem in den Waferscannern von ASML Verwendung findet, leistet ihren Beitrag bei der Erforschung von Entwicklungstechniken für Halbleitern im Sub-2nm-Bereich.(Bild: ZEISS)
Zeiss-Beleuchtungssystem für High-NA-EUV-Lithografie. Die fortschrittliche Belichtungstechnologie, die unter anderem in den Waferscannern von ASML Verwendung findet, leistet ihren Beitrag bei der Erforschung von Entwicklungstechniken für Halbleitern im Sub-2nm-Bereich.
(Bild: ZEISS)

Nach ASML hat auch Zeiss SMT eine strategische Kooperationsvereinbarung unterzeichnet, um speziell die am belgischen Forschungsinstitut bestehende NanoIC-Pilotlinie für modernste Halbleitertechnologie und Fertigungskompetenz im Sub-2nm-Bereich weiterzuentwickeln. Zeiss SMT und imec verlängern damit ihre bereits seit 2019 bestehende Zusammenarbeit bis wenigstens zum Jahr 2029.

Im Rahmen der Vereinbarung unterstützt Zeiss die belgische Forschungseinrichtung bei Forschungsprojekten zur Weiterentwicklung von Fertigungs-, Prozess- und Messtechnologien für die Halbleiterproduktion. Das deutsche Unternehmen stellt darüber hinaus Lithografieoptiksysteme verschiedener Produktgenerationen für die Pilotlinie von imec bereit, darunter auch die NanoIC-Produktlinie zur Erforschung von Entwicklungstechnologien für Halbleiter im Sub-2nm-Bereich. Diese Optiken werden in die Lithografie-Scannersysteme des strategischen Partners ASML integriert, die unter anderem in Waferscannern für EUV-NA-Anlagen verwendet werden.

„Wir freuen uns sehr, unsere Zusammenarbeit mit imec zu intensivieren, um gemeinsam mit dem starken Partnernetzwerk von imec die Halbleitertechnologien von morgen voranzutreiben“, kommentiert Thomas Stammler, Chief Technology Officer und Mitglied des Management-Teams von ZEISS SMT, die beschlossene Vereinbarung. „Für die Forschung und Entwicklung modernster Halbleitertechnologien sind das Know-how und die technologische Erfahrung von Industriepartnern wie ZEISS unerlässlich. Daher freuen wir uns sehr, unsere Partnerschaft noch weiter zu stärken“, bekräftigt auch Luc Van den hove, Präsident und Chief Executive Officer von imec, die Kooperationsvereinbarung.

Enge Zusammenarbeit für stärkere europäische Präsenz im Halbleitermarkt

Die enge Zusammenarbeit zwischen imec und ZEISS steht im Einklang mit den Zielsetzungen und Bestrebungen der Europäischen Union und dem European Chips Act, der darauf abzielt, die technologische Souveränität, Wettbewerbsfähigkeit und Resilienz Europas zu stärken. „Mit den Investitionen in die Pilotlinie von imec, die nun um die NanoIC-Pilotlinie erweitert wird, trägt Zeiss wesentlich dazu bei, Europas Führungsposition bei der neuesten Generation von Halbleiteranlagen zu erhalten und durch die Entwicklung von Technologie-Roadmaps weiter auszubauen“, sagt Stammler.

Die verstärkte Zusammenarbeit der beiden Partner ist auch ein Signal für die Relevanz branchenübergreifender Vernetzung für den globalen Halbleitermarkt: „Diese strategische Partnerschaft zwischen imec und ZEISS unterstreicht, wie der starke Zusammenhalt europäischer Partner, der für den Aufbau der NanoIC-Pilotlinie, der weltweit fortschrittlichsten Infrastruktur für Forschung und Entwicklung im Sub-2-nm-Bereich, von entscheidender Bedeutung ist, Innovationen beschleunigt und die Führungsposition Europas im Halbleiter-Ökosystem stärkt“, erklärt Van den Hove. (sg)

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