Sub-2-nm-System-on-Chip-Technologie NanoIC-Pilotlinie auf dem imec-Campus in Leuven offiziell eröffnet

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Das belgische Forschungsinstitut imec hat Europas NanoIC-Pilotlinie einer 2.000 m² großen Reinraum-Erweiterung auf seinem Campus in Leuven offiziell eröffnet. Die Halbleiterproduktionsstätte soll dazu dienen, Innovationen im Bereich der Sub-2-nm-System-on-Chip-Technologie voranzutreiben.

Mit einer 2.000 m² große Reinraum-Erweiterung an seinem Hauptsitz in Leuven hat das belgische Forschungsinstitut imec den Aufbau der europäischen NanoIC-Pilotlinie offiziell gestartet. Möglich wurde dieser Schritt durch eine Gesamtinvestition von 2,5 Milliarden Euro aus Mitteln der Europäischen Union, der flämischen Regierung sowie durch Beiträge von Industriepartnern, insbesondere dem niederländischen Hersteller von Halbleiterfertigungsmaschinerie, ASML. Die NanoIC-Pilotlinie ist damit als gemeinsame europäische Entwicklungsplattform ausgelegt, die den Transfer von Forschung in industrielle Anwendungen beschleunigen soll.

Mit einer Fläche von über 12.000 m² spielt der Reinraum von imec eine entscheidende Rolle für die Ambitionen des European Chips Act, Europa an die Spitze der Innovation und Fertigung von Halbleitern der nächsten Generation zu bringen. Diese Strategie wird maßgeblich dazu beitragen, die industrielle Struktur des Kontinents im Zeitalter der KI zu stärken und gleichzeitig ein Klima des nachhaltigen Wirtschaftswachstums, der Sicherheit und des Wohlstands für die kommenden Jahrzehnte zu gewährleisten.

Die Pilotlinie ist dabei nicht nur eine F&E-Umgebung, sondern ein Beschleuniger für Innovation und zugleich ein Trainings- und Qualifizierungs-Hub für die nächste Generation von Halbleiter-Fachkräften. Sie soll den Zugang zu modernster Technologie gezielt für europäische Unternehmen – einschließlich Start-ups – erleichtern und die Voraussetzungen schaffen, schneller Prototypen zu entwickeln und neue Lösungen in Richtung Produktion zu bringen.

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„Seit der Ankündigung im Mai 2024, dass imec die NanoIC-Pilotlinie beherbergen würde, haben wir mit Hochdruck daran gearbeitet, die Anschaffung von Werkzeugen zu beschleunigen und ein umfassendes Rekrutierungsprogramm zu starten. Heute gipfelt diese Anstrengung in der Einweihung einer 2.000 m² großen Reinraum-Erweiterung auf dem imec-Gelände. Dort wird eine erstklassige Werkzeugausstattung untergebracht, darunter der High-NA-EUV-Scanner der nächsten Generation von ASML, der Mitte März eintreffen soll“, sagte Luc Van den hove, CEO von imec. „Die Forscher von imec arbeiten hier Seite an Seite mit IDMs, Foundries, Ausrüstungs- und Materialzulieferern, Systemunternehmen, Start-ups, Universitäten und anderen europäischen Forschungs- und Technologieorganisationen. Gemeinsam haben wir uns auf eine ehrgeizige Reise begeben, um die Halbleitertechnologie über den 2-nm-Knoten hinaus voranzutreiben. Durch den Zugang zu modernsten Halbleitertechnologien wird die NanoIC-Pilotlinie eine entscheidende Rolle bei der Stärkung der europäischen Industrie im Zeitalter der KI spielen und für die nächsten Jahrzehnte ein Klima des Wirtschaftswachstums, der Sicherheit und des Wohlstands gewährleisten“, fügte er hinzu.

Strategische Bedeutung und Zukunftsaussichten

In den Ansprachen aus Industrie und Politik wurde der größere Kontext deutlich: Europas digitale Transformation wird vor allem durch zwei Kräfte geprägt – Künstliche Intelligenz und die kontinuierliche Fortschrittskurve der Chiptechnologie. Um in dieser Dynamik vorne zu bleiben, braucht Europa Zugang zu den weltweit fortschrittlichsten Halbleiterfähigkeiten – von Prozessentwicklung über Design-Exzellenz bis hin zur Möglichkeit, frühe Prototypen zu bauen und in die Industrie zu übertragen.

Imec beschreibt die Pilotlinie dabei ausdrücklich als Brücke „vom Lab zum Fab“: Ziel ist, die gesamte Wertschöpfungskette zusammenzubringen – Material- und Ausrüstungsunternehmen, Hersteller, Fabless- und Systemfirmen – und Innovationen mehrere Technologieknoten vor der Fertigung vorzubereiten. Imec verweist zudem auf seine gewachsene Rolle als globaler Magnet: 6.500 Mitarbeitende aus mehr als 100 Nationen sowie Kooperationen mit über 200 Universitäten.

Mit starker Unterstützung der europäischen, belgischen und flämischen Regierungen – und einem robusten Netzwerk von Industriepartnern – wird imec in Kürze mit dem Bau eines völlig neuen 4.000 m² großen Reinraums auf seinem Campus in Leuven beginnen, einem weiteren wichtigen Baustein, um die europäische NanoIC-Initiative auf Hochtouren zu bringen. In den nächsten fünf Jahren wird die NanoIC-Pilotlinie mehr als hundert neue Werkzeuge integrieren, die auf die Standorte von imec und seinen Partnern CEA-Leti (Frankreich), Fraunhofer (Deutschland), VTT (Finnland), CSSNT-UPB (Rumänien) und Tyndall National Institute (Irland) verteilt sind.

Laut imec wird die Umsetzung in zwei Phasen erfolgen: Zunächst die Erweiterung der bestehenden Pilotlinie mit rund 100 hochmodernen Tools, anschließend die automatisierte Anbindung an ein nächstes Modul („Fab 4“), das bis 2028 bereitstehen soll. Diese Skalierung soll Kapazität und Fähigkeiten für die kommenden, besonders komplexen Technologiegenerationen deutlich erhöhen. Eine von ASML gelieferte High-NA-EUV-Anlage soll in voraussichtlich sechs Wochen am imec-Campus eintreffen und in die gestartete Pilotlinie integriet werden.

„Wir haben nicht den Luxus, die Größten oder Stärksten zu sein, aber wir haben die Wahl, die Besten zu sein“, erklärt Matthias Diependaele, flämischer Ministerpräsident. „Imec vereint Talent, Wissen und internationale Zusammenarbeit. Mit der NanoIC-Pilotlinie setzt Europa diese Entscheidung in die Realität um: für technologische Exzellenz und strategische Unabhängigkeit. Die Tatsache, dass imec diese Pilotlinie beherbergt, unterstreicht die außergewöhnlichen Stärken, die Flandern in Forschung und Innovation entwickelt hat. Hier zeigen wir, wie eine Region von Weltklasse die Chip-Technologie von morgen gestalten kann.“

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Ein Schritt vorwärts für die europäische Führungsrolle im Halbleiterbereich

„Heute machen wir einen Schritt vorwärts bei der Stärkung des Chiptechnologie-Ökosystems in Europa, um unseren Kunden, den weltweiten Chipherstellern, zu dienen," sagte Christophe Fouquet, Präsident und CEO von ASML, anlässlich der Eröffnung.„ Durch unsere 40-jährige Partnerschaft mit imec haben wir gemeinsam schnellere Innovationen vorangetrieben, eine stärkere Zusammenarbeit gefördert und die Entwicklung regionaler Talente unterstützt – allesamt Faktoren, die für den Fortschritt der weltweiten Chipindustrie und der KI erforderlich sind. Heute weihen wir die NanoIC-Pilotlinie ein, die das High-NA-EUV-System von ASML umfasst und das beste Beispiel dafür ist, was wir erreichen können, wenn weltweit führende Technologieunternehmen zusammenarbeiten, um ihre neuesten Technologien und Talente zu bündeln. Dank der starken Unterstützung von EU-Präsidentin Von der Leyen und dem European Chips Act sind wir alle sehr stolz und dankbar, dass dies im Herzen Europas geschieht und Europa eine noch wichtigere Rolle im globalen Halbleiter-Ökosystem spielen kann.“

Fouquet ordnete die Bedeutung auch historisch ein: Der Fortschritt entlang der bekannten Skalierungspfade (häufig mit Moore’s Law verknüpft) habe in den vergangenen Jahrzehnten wesentliche Innovationen ermöglicht – weil höhere Transistordichte und sinkende Kosten Technologie für breite Anwendungen zugänglich machten. In dieser Logik sei die NanoIC-Pilotlinie ein Ort, an dem neue Schlüsseltechnologien sehr wahrscheinlich „zuerst“ auftauchen, bevor sie global ausgerollt werden.

Mit Blick nach vorn stellte Fouquet die These in den Raum, dass sich durch KI der Innovationstakt weiter beschleunigt: Wenn „KI überall“ werde, müsse Europa den Zugang zu führender Chiptechnologie als Grundlage für Wohlstand und Souveränität absichern. Genau dafür stehe die enge Partnerschaft von ASML und imec: neue Lithografie-Generationen früh testen, Leistung herausarbeiten und die nächste Technologiestufe schneller in Richtung Industrie bringen.(sg)

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