Halbleiterfertigung ASML bekommt allmählich Konkurrenz in China

Anbieter zum Thema

ASML Netherlands B.V.

Huawei Technologies Deutschland GmbH

ODU GmbH & Co. KG

N & H Technology GmbH

DMB Technics AG

SiCarrier elektrisiert die Semicon China: Mit über 30 neuen Tools und großen Ambitionen zieht das junge chinesische Unternehmen auf der Semicon alle Blicke auf sich – und will sich als künftiger Herausforderer westlicher Ausrüster wie ASML in Position bringen.

Noch nie war der Andrang so groß. Wer sich dieses Mal einen Weg durch die Hallen der Semicon China 2025 bahnte, kam am Stand von SiCarrier kaum vorbei. Am letzten Messetag, dem 26. März 2025, als sich bei anderen Ausstellern längst Leere breit machte, drängten sich am Stand von SiCarrier immer noch Hunderte Besucher. Ausgestellt waren dabei nicht einmal echte Maschinen, sondern lediglich Fotos von Ausrüstungen zur Chipherstellung. Dennoch war der Andrang gewaltig.

„Das ist unser erster Produkt-Launch seit der Gründung des Unternehmens vor etwas mehr als drei Jahren – und alle Geräte, die wir zeigen, sind bereits in der Massenproduktion angekommen“, sagte ein Mitarbeiter von SiCarrier der Zeitung Zhengquan Shibao. Die große Aufmerksamkeit erklärt sich aus den überraschenden Ankündigungen, die SiCarrier auf der Messe gemacht hat: Man sei technisch bereits nahe dran an globalen Marktführern wie ASML, Applied Materials oder Tokyo Electron – zumindest in bestimmten Klassen wie dem 28-Nanometer-Prozess.

Aus der Not eine Tugend machen

In chinesischen Fachmedien wird SiCarriers Messeauftritt bereits als „DeepSeek-Moment der heimischen Halbleiterindustrie“ bezeichnet – in Anlehnung an das gleichnamige LLM-Modell, das als chinesische Antwort auf ChatGPT-4 gefeiert wurde. Das mag ein wenig übertrieben sein, aber die Entwicklung ist zweifellos sehr interessant. Seit die USA, Japan und die Niederlande ihre Exportkontrollen für Halbleitertechnologien massiv verschärft haben, treibt China die Entwicklung eigener Produktionsmittel voran. In diese Lücke stößt auch SiCarrier.

Das Unternehmen präsentierte auf der Messe mehr als 30 neue Geräte, darunter Werkzeuge für das Ätzen, die Dünnschicht-Abscheidung (PVD/CVD/ALD), für optische Inspektion und Metrologie. Laut SiCarrier sollen einige der Tools bereits bei Kunden im Einsatz sein, auch wenn bislang nicht alle Prozessschritte in der Serienproduktion angekommen sind. Auf eine Ausstellung kompletter, physischer Lithografie-Anlagen wurde auf der Messe noch verzichtet. Allerdings erklärte das Unternehmen über seinen WeChat-Kanal, man verfüge über Litho-Tools für 300-mm-Wafer und 28-nm-Knoten, die „kompatibel mit internationalen Standards“ seien. Für 2026 plane man sogar schon eine Plattform, die sich an den Technologien von ASML und Applied Materials messen könne.

Technologischer Protektionismus

Die mediale Wucht, mit der SiCarrier ins Rampenlicht drängt, ist nicht vom politischen Kontext zu trennen. Denn im sogenannten „Chipkrieg“ zwischen den USA und China geht es längst nicht mehr nur um Smartphones und Speicherchips. Nationalistisch denkende Strategen auf beiden Seiten sehen in den Fähigkeiten zur Lithografie nichts weniger als eine Frage der technologischen und strategischen Autonomie ihrer Staaten.

Der Exportstopp fortgeschrittener Lithografie-Systeme aus den USA, Europa und Japan – zuletzt auch für DUV-Systeme von ASML – hat in China eine starke Beschleunigung der eigenen Entwicklungsarbeit ausgelöst: massive Investitionen, staatliche Rückendeckung und eine neue Generation ambitionierter Start-ups.

SiCarrier im Rampenlicht

SiCarrier ist eines davon – mit besten Verbindungen in Politik und Industrie. Gegründet 2021, ist das Unternehmen eine hundertprozentige Tochter der „Shenzhen Major Industrial Investment Group“, einer staatlichen Beteiligungsgesellschaft, die auch an Huawei-nahen Halbleiterunternehmen beteiligt ist. Die Nähe zu Huawei, zu der beide Unternehmen nicht Stellung nehmen, lässt sich unter anderem an Personalien festmachen. Mehrere leitende Ingenieure wechselten von Huawei oder SMIC, Chinas führendem Chiphersteller, zu SiCarrier. Einer davon ist laut Nikkei Asia auch Mitglied der SMIC-Kontrollgremien.

Trotz des Booms bleiben manche Experten skeptisch. Die Fachportale Tom’s Hardware und TrendForce weisen darauf hin, dass sich viele von SiCarriers Geräten noch in der Phase der Validierung befinden. Auch wurden wie zuvor besprochen noch keine realen Litho-Anlagen ausgestellt. „Natürlich gibt es noch viele Hürden, die chinesische Unternehmen überwinden müssen. Wir sehen noch immer keine global konkurrenzfähigen DUV- oder EUV-Ausrüstungen und es gibt auch noch viele Fragen über SiCarriers wirkliche Performance“, schreibt Technode.

Doch die strategische Relevanz des Unternehmens und seine Fortschritte sind offensichtlich. Während frühere Hoffnungsträger wie „Shanghai Microelectronics Equipment“ (SMEE) in Shanghai momentan fast wieder vergessen scheinen – der Stand war in diesem Jahr nahezu verwaist –, ist es nun SiCarrier, das mit Dutzenden Maschinenklassen und einem eigenen R&D-Campus in Shenzhen das schon bekannte Narrativ neu bespielt: chinesische Selbstversorgung statt Abhängigkeit vom Ausland.

Die Vision von SiCarrier könnte sogar noch größer sein: Ausländische Hersteller nicht nur zu ersetzen, sondern sogar zu überflügeln und auf dem Weltmarkt zu schlagen. Sein Unternehmen erwarte noch in diesem Jahr kommerzielle Bestellungen von SMIC und Hua Hong, also den beiden größten Foundries Chinas, sagte der SiCarrier CTO. In den nächsten drei Jahren will das Unternehmen auch Forschungszentren in mehr als zehn Städten sowie Servicezentren in Europa und Südostasien aufbauen.

Echte Konkurrenz?

Nimmt man eine Momentaufnahme, so muss das Fazit wohl lauten: SiCarrier ist noch jung und bis jetzt kein Ersatz für ASML, ist aber sehr ambitioniert und schon überraschend weit gekommen. In gut drei Jahren hat das Unternehmen den Berichten zufolge eine Fertigungstiefe aufgebaut, von der andere chinesische Ausrüster noch weit entfernt sind. Staatliche Unterstützung und eine gezielte Industriepolitik in Chinas Tech-Metropole Shenzhen haben dabei zweifellos geholfen. Über die „Shenzhen Major Industry Investment Group“, die in SiCarrier investiert hat, will die Stadtregierung von Shenzhen den Aufbau der örtlichen Chip-Produktion vorantreiben.

Doch die harte und von einem gemeinsamen Ziel getriebene Arbeit von Tausenden von chinesischen Ingenieuren war zweifellos ebenso nötig für diese Fortschritte. Man sieht sich bei SiCarrier nicht nur in Konkurrenz zu den USA, sondern auch zu anderen Hightech-Clustern innerhalb Chinas, was aus Sicht des Unternehmens langfristig sogar der wichtigere Wettbewerb sein könnte. Ob sich die Geräte von SiCarrier am Ende wirklich mit denen von ASML oder AMAT messen können, wird sich erst noch zeigen müssen. Dafür müssten sie nicht nur vorgeführt, sondern auch in der Serienfertigung bestehen.

Doch schon jetzt ist sicher, dass der Druck auf die westlichen Ausrüster weiter wächst. Der Versuch, China von fortgeschrittener Lithografie-Ausrüstung aus dem Ausland fernzuhalten, könnte kurzfristig Erfolge verzeichnen, sich langfristig aber zu einem Bumerang für die USA, Europa und Japan entwickeln. (sb)

Wirbel um die DeepSeek-KI

Ganz China ist stolz auf DeepSeeks Gründer Liang Wenfeng

(ID:50392185)