Bosch-Forscher Als Europas Erfinder des Jahres ausgezeichnet

Andrea Urban und Franz Lärmer sind mit dem Preis „European Inventor of the Year“ der EU-Kommission und des Europäischen Patentamtes ausgezeichnet worden. Die Forscherin und der Forscher der Bosch-Gruppe erhielten die Auszeichnung für die Entwicklung eines Verfahren zur Herstellung von mikromechanischen Bauelementen (MEMS).

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Dabei handelt es sich um ein besonderes Plasmaätzverfahren für Silizium. Damit sei es erstmals möglich geworden, Sensoren in großer Stückzahl kostengünstig herzustellen, heißt es seitens Bosch. Durch das 1992 entwickelte Plasmaätzverfahren können tiefe Strukturen hochpräzise mit senkrechten Wänden und hoher Ätzgeschwindigkeit in Wafer eingeätzt werden. Zuvor konnten solche Mikrostrukturen nur mit dem teueren LIGA-Verfahren (Lithographie, Galvanik und Abformung) auf einer Metallbasis hergestellt werden.

Nahezu alle MEMS weltweit würden mit Hilfe des allgemein als „Bosch-Prozess“ bekannten Prozesses hergestellt, so die Firma Bosch. Seit 1992 sind etwa 40 Patentfamilien mit mittlerweile mehr als 350 Einzelpatenten entstanden. Bosch forscht seit 1988 auf dem Gebiet der MEMS

Mit dem Preis „European Inventor of the Year“ werden Erfinder und Innovationen ausgezeichnet, die in Europa und darüber hinaus einen maßgeblichen Beitrag zum technischen Fortschritt und damit auch zur wirtschaftlichen Stärkung Europas geleistet haben. Die Auszeichnung wurde an Urban und Lärmer in München von Günter Verheugen, Vize-Präsident der EU-Kommission, und EPA-Präsident Alain Pompidou überreicht.

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