3-D-Qualitätskontrolle

Vermessung komplexer Bauteile per Bildverarbeitung am Beispiel Ball-Grid-Array

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Die Anforderungen an das Kamerasystem

Deshalb ist einer der zentralen Punkte dieser Messsysteme die Leistungsfähigkeit der integrierten Kamera. Aus Gründen der Flexibilität in der Anwendung sind größere Messfelder vorteilhaft, was gleichzeitig nachteilig für die damit erzielbare Messgenauigkeit ist. Deshalb ist die Bildauflösung und Bildqualität der Kamera ein entscheidender Faktor für die Leistungsfähigkeit des Systems Korad.

Das Messprinzip der Weißlicht-Interferometrie. Durch Auswertung der Interferenzmuster lassen sich Mikrostrukturen extrem präzise dreidimensional kontrollieren. (Archiv: Vogel Business Media)

Bei vielen Anwendungen besteht die Notwendigkeit die gesamte Struktur durch mehrere Schichten zu erfassen, und das in den sehr kurzen Taktzeiten innerhalb der Fertigungslinien. Eine Verdopplung der Messtiefe bewirkt auch die doppelte Messzeit. Das Problem gleicht damit der Quadratur des Kreises. Erforderlich ist die Megapixelauflösung der Kamera, die gleichzeitig mit hohen Bildfrequenzen und daraus folgenden großen Datenraten extrem schnell bewältigt werden muss. Alle Bilder sollen in Echtzeit erfasst, übertragen und ausgewertet werden. Hinzu kommen auch noch die überaus wichtigen Aspekte der Bildqualität wie Kontrast- und Rauschverhalten oder Lichtempfindlichkeit.

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