Piezo-Aktorik Unterschiedliche Integrationsstufen

Beispiele für den Einsatz von Piezotechnik gibt es überall dort, wo fein justiert, also mit hoher Auflösung positioniert werden muss; oft auch noch mit hoher Dynamik oder Kraft. Anwendungen,

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Jauch Quartz GmbH

ET System electronic GmbH

Shanghai Yongming Electronic Co., Ltd.

Physik Instrumente (PI) SE & Co. KG

Beispiele für den Einsatz von Piezotechnik gibt es überall dort, wo fein justiert, also mit hoher Auflösung positioniert werden muss; oft auch noch mit hoher Dynamik oder Kraft. Anwendungen, die dies erfordern, sind z.B. Spaltbreiten-Einstellungen, das Cavity-Tuning in der Laseroptik sowie das Microscanning für Imagingverfahren. Auch gehören Dispenser, Ventile für die Mikrodosierung und Pumpen in der Medizintechnik dazu. Piezobasierte Positioniersysteme sind hierfür passende Lösungsvoraussetzungen. Physik Instrumente (PI) offerieren mehrere Hebelaktoren der PiezoMove-Serie, die im umfangreichen Produktprogramm die Integrationsstufe zwischen vorgespannten Stapelaktoren (Auslenkung bis etwa 100 µm) und kompletten, mehrachsigen Stelltischen abdecken. Bei den Hebelaktoren sind die Piezoaktoren mechanisch in Festkörpergelenke integriert. Das verbessert die Führungsgenauigkeit; Verkippen oder seitlicher Versatz sind nicht zu befürchten. Gleichzeitig übersetzen die Festkörpergelenke die Auslenkung des Piezos in größere Stellwege. Im Gegensatz zu Nanopositioniersystemen bauen Hebelaktoren sehr klein und lassen sich dadurch gut integrieren.

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