Halbleiterfertigungs-Ausrüstung Niederlande weiten Exportregeln für fortschrittliche Halbleiterfertigungs-Technologien aus

Anbieter zum Thema

ASML Netherlands B.V.

Bürklin GmbH & Co. KG

MES Electronic Connect GmbH & Co. KG

RECOM Power GmbH

In den Niederlanden werden zum 1. April 2025 die nationalen Exportkontroll-Regularien für fortgeschrittene Halbleiterfertigungs-Ausrüstung verschärft. Weitere Arten von Technologien sollen ab dem Stichtag erst exportiert werden können, wenn eine nationale Freigabe vorliegt.

Viele Länder stehen beim Thema Chip-Krieg zwischen den USA und China zwischen den Stühlen, denn man möchte es sich verständlicherweise weder mit dem einen noch mit dem anderen Handelspartner verscherzen. Eine Nation, die dabei immer im Blickpunkt steht, sind die Niederlande, denn dort ist der weltgrößte Hersteller fortschrittlicher Halbleiterfertigungs-Ausrüstung ansässig, ASML.

Bereits in der Vergangenheit hat die niederländische Regierung auf Druck aus den USA den Export von fortschrittlichen Maschinen für die Halbleiterfertigung beschränkt; insbesondere für solche Lithografiemaschinen, die in Richtung China geschickt werden sollten. Hauptsächlich geht es dabei um die neuesten High-NA-EUVL-Geräte. Doch Anfang 2024 wurde ASML gar teilweise die Versandlizenz für zwei DUV-Lithografiesysteme (deep ultra violet) entzogen, also für Maschinen, die nicht einmal die hoch entwickelte EUVL-Technologie (extreme ultra violet) nutzen. Nun legt die niederländische Regierung bei den Exportkontrollen für die Ausrüstung für die Halbleiterfertigung nach.

Export von Lithografie-Maschinen 

ASML: Exportstopp nach teilweisem Lizenzrückzug durch die Niederlande 

Mehr „Arten von Technologien“ werden reglementiert

Ab dem 1. April 2025, so kündigt die Regierung an, werden weitere Arten von fortschrittlichen Technologien für die Herstellung von Halbleitern der nationalen Genehmigungspflicht unterliegen. „Die neue Politik gilt beispielsweise für spezielle Mess- und Prüfgeräte, die bei der Herstellung fortschrittlicher Halbleiter verwendet werden können“, heißt es in der offiziellen Mitteilung von Reinette Klever, Ministerin für Außenhandel und Entwicklung. Die neuen Regeln sollen allerdings nur einen sehr geringen Teil an Technologien und Gütern betreffen, während die alten Regularien sich ausschließlich mit Lithografiemaschinen beschäftigten.

„Die Sicherheitsrisiken, die mit dem unkontrollierten Export dieser Technologien verbunden sind, haben zugenommen. Diese Technologien können mit Technologien aus anderen Ländern kombiniert werden, um fortschrittliche Halbleiter herzustellen. Diese fortschrittlichen Halbleiter können dann wiederum eine Schlüsselrolle in fortschrittlichen militärischen Anwendungen spielen“, heißt es weiterhin. Die Regierung werde ab dem 1. April 2025 von Fall zu Fall entscheiden, ob sie eine Genehmigung erteilt. Die nationale Maßnahme gilt für Ausfuhren aus den Niederlanden in alle Bestimmungsländer außerhalb der EU und stellt kein Ausfuhrverbot dar.

Betroffen von den neuen Regularien sind unter anderem Ausrüstungen für epitaktisches Wachstum, die mindestens eine Vorbehandlungskammer für Oberflächenvorbereitungen zur Oberflächenreinigung von Wafern und eine Kammer für die epitaktische Abscheidung, konstruiert für eine Betriebstemperatur von 958 K (685 °C) oder weniger umfassen. Ebenfalls muss die Ausfuhr von Geräten zur Entfernung von Polymerrückständen und Kupferoxidschichten als Vorbereitung für die Abscheidung eines Kupfermetalls in einer Vakuumumgebung freigegeben werden, sowie Geräte zur trockenen Entfernung von Oxiden oder von Verunreinigungen auf Oberflächen unter Verwendung mehrerer Kammern oder mehrerer Stationen. Ausrüstungen für die Atomlagenabscheidung, Wiederholgeräte, diverse Mess- und Prüfgeräte, Software für die Entwicklung und Herstellung von Halbleitern und mehr sind ebenfalls auf der Liste. Die komplette Erweiterung der Regularien lassen sich (auf Niederländisch) unter den offiziellen Bekanntmachungen der Regierung einsehen.

Niederlande und China im Gespräch

Die niederländischen Exportregeln für Technologie für die Halbleiterfertigung betrifft zweifellos auch den bekannten Lithografie-Maschinen-Hersteller ASML. China ist einer der größten Umsatzmärkte für das niederländische Unternehmen. Die chinesische Regierung hat entsprechend Kritik an den niederländischen Verschärfungen geäußert.

Premierminister Dick Schoof habe mit Blick auf Menschenrechte, die wirtschaftlichen Beziehungen und insbesondere bezüglich der ASML-Technologien im Rahmen eines Treffens mit dem chinesischen Vizepremier Ding Xuexiang in Den Haag ein „kritisches Gespräch“ geführt, das „überwiegend positiv“ verlaufen sei, so Reuters. Und Ding Xuexiang erklärte wiederum bei einem Treffen mit dem niederländischen König Willem-Alexander, dass China bereit sei, das gegenseitige Vertrauen zu stärken und gemeinsam an der Aufrechterhaltung der Stabilität und des reibungslosen Ablaufs der globalen Lieferkette zu arbeiten.

Ding sagte, dass die Beziehungen zwischen den Niederlanden und China trotz der sich verändernden internationalen Situation immer eine gute Dynamik aufrechterhalten haben. „China ist bereit, mit den Niederlanden zusammenzuarbeiten, um das Verständnis und das gegenseitige Vertrauen zu verbessern, den Austausch und die Zusammenarbeit in verschiedenen Bereichen zu verstärken und die kontinuierliche Entwicklung der offenen und pragmatischen umfassenden kooperativen Partnerschaft zu fördern“, so Ding (via Reuters). (sb)

(ID:50299216)