Dank heutiger Fertigungsmöglichkeiten sind jetzt verlässliche, integrierte bewegliche Strukturen auf der Mikroebene möglich, die vor zehn Jahren noch nicht realisierbar waren. Die Möglichkeiten und Potentiale im MEMS-Bereich sind enorm, doch die Systeme sind meist komplex und stecken voller physikalischer Wechselwirkungen, was die Entwicklung erschwert.

Multiphysikalische FEM-Simulation hilft bei der Entwicklung von MEMS-Bauteilen. In diesem Whitepaper erfahren Sie an einem praktischen Beispiel, wie ein MEMS-Simulationsprojekt erfolgreich umgesetzt wird.

Im Whitepaper erfahren Sie mehr über die Multiphysik-Simulation von MEMS-Bauteilen. Schwerpunkte sind:

• Einsatz von MEMS-Bausteinen in optischen Netzwerken
• Kopplung von MEMS-Phasenschieber und Lichtwellenleiter
• Aufteilen komplexer Probleme in kleinere Aufgaben
• Simulation als Grundlage für jede Designentscheidung