Teradyne und ficonTEC bringen doppelseitigen Wafertester für Silizium-Photonik zur Serienreife

Doppelseitiger Wafer-Probetest Wafer vor dem Dicing elektrisch und optisch prüfen

03.04.2025 Von Dipl.-Ing. (FH) Hendrik Härter 1 min Lesedauer

Anbieter zum Thema

SPEA GmbH Systeme f. professionelle Elektronik und Automation

Precoplat Präzisions-Leiterplatten-Technik GmbH

IBR Leiterplatten GmbH & Co. KG

Teradyne und ficonTEC haben einen doppelseitigen Wafertester für die Silizium-Photonik zur Serienreife gebracht. Das integrierte Testsystem kann für elektro-optische Hochdurchsatzmessungen eingesetzt werden.

Halbleitertest: Teradyne und ficonTEC haben einen doppelseitigen elektro-optischen Wafer-Probetest entwickelt, der speziell auf die Anforderungen von Co-Packaged Optics (CPO) und Silizium-Photonik zugeschnitten ist.(Bild: ITA, Leibniz Universität Hannover) — Halbleitertest: Teradyne und ficonTEC haben einen doppelseitigen elektro-optischen Wafer-Probetest entwickelt, der speziell auf die Anforderungen von Co-Packaged Optics (CPO) und Silizium-Photonik zugeschnitten ist.
(Bild: ITA, Leibniz Universität Hannover)

Mit dem wachsenden Bedarf an Co-Packaged Optics (CPO) steigt der Druck auf die Testsysteme in der Waferfertigung: Die Qualität photonischer Halbleiter muss bereits vor dem Dicing verlässlich geprüft werden. Teradyne hat gemeinsam mit ficonTEC eine produktionsreife Testanwendung entwickelt, die den doppelseitigen elektro-optischen Wafer-Probetest in den industriellen Serienbetrieb bringt. Bei einem doppelseitigen elektro-optischen Wafer-Probetest werden beide Seiten eines Wafers gleichzeitig elektrisch und optisch geprüft – und zwar vor dem Dicing, also noch im vollständigen Waferzustand.

Im Zentrum der Testzelle steht Teradynes UltraFLEXplus ATE-Plattform mit der offenen Programmierschnittstelle IG-XL. Diese wird kombiniert mit ficonTECs präziser optischer Ausrichtungstechnik, automatisiertem Wafer-Handling und einer kontaktlosen Probe für die Vorder- und Rückseite. Die Integration ermöglicht erstmals die Testabdeckung beidseitig strukturierter, hybrid gebondeter PIC/EIC-Wafer unter Produktionsbedingungen.

Die technischen Merkmale im Überblick

Doppelseitige Kontaktierung: Gleichzeitige elektrische und optische Charakterisierung beider Waferseiten.

Inline-fähig: Integration in bestehende Fab- oder OSAT-Infrastruktur ohne zusätzliche Umbaumaßnahmen.

Offenes Ökosystem: Kompatibilität mit marktgängigen optischen Messsystemen, Probencards und Alignment-Technologien.

Hoher Durchsatz: Optimiert für Volumenproduktion bei gleichzeitig hoher Testabdeckung.

Programmierumgebung IG-XL: Einheitliche Testentwicklung und -auswertung innerhalb der UltraFLEXplus-Plattform.

Die vorgelagerte Charakterisierung von Silizium-Photonik-Komponenten erfolgt effizient und mit einem Höchstmaß an Wiederholbarkeit – essenziell für die Ermittlung bekannter guter Dies (Known Good Dies) vor dem Packaging in CPO-Module oder Transceiver. Teradyne und ficonTEC verfolgen dabei einen offenen Ansatz: Die Systemarchitektur lässt sich flexibel an unterschiedliche Fertigungs- und Testumgebungen anpassen, sowohl hinsichtlich der optischen Ausrüstung als auch bei den Prüfanforderungen. (heh)

Test und Programmierung von Mikrocontrollern: Mit dem VarioTAP lassen sich Test- und Programmierzeiten deutlich senken. (Bild: frei lizenziert)

(ID:50375640)

Jetzt Newsletter abonnieren

Verpassen Sie nicht unsere besten Inhalte

Geschäftliche E-Mail

Bitte geben Sie eine gültige E-Mailadresse ein.

Mit Klick auf „Newsletter abonnieren“ erkläre ich mich mit der Verarbeitung und Nutzung meiner Daten gemäß Einwilligungserklärung (bitte aufklappen für Details) einverstanden und akzeptiere die Nutzungsbedingungen. Weitere Informationen finde ich in unserer Datenschutzerklärung. Die Einwilligungserklärung bezieht sich u. a. auf die Zusendung von redaktionellen Newslettern per E-Mail und auf den Datenabgleich zu Marketingzwecken mit ausgewählten Werbepartnern (z. B. LinkedIn, Google, Meta).

Stand: 08.12.2025

Es ist für uns eine Selbstverständlichkeit, dass wir verantwortungsvoll mit Ihren personenbezogenen Daten umgehen. Sofern wir personenbezogene Daten von Ihnen erheben, verarbeiten wir diese unter Beachtung der geltenden Datenschutzvorschriften. Detaillierte Informationen finden Sie in unserer Datenschutzerklärung.

Einwilligung in die Verwendung von Daten zu Werbezwecken

Ich bin damit einverstanden, dass die Vogel Communications Group GmbH & Co. KG, Max-Planckstr. 7-9, 97082 Würzburg einschließlich aller mit ihr im Sinne der §§ 15 ff. AktG verbundenen Unternehmen (im weiteren: Vogel Communications Group) meine E-Mail-Adresse für die Zusendung von redaktionellen Newslettern nutzt. Auflistungen der jeweils zugehörigen Unternehmen können hier abgerufen werden.

Der Newsletterinhalt erstreckt sich dabei auf Produkte und Dienstleistungen aller zuvor genannten Unternehmen, darunter beispielsweise Fachzeitschriften und Fachbücher, Veranstaltungen und Messen sowie veranstaltungsbezogene Produkte und Dienstleistungen, Print- und Digital-Mediaangebote und Services wie weitere (redaktionelle) Newsletter, Gewinnspiele, Lead-Kampagnen, Marktforschung im Online- und Offline-Bereich, fachspezifische Webportale und E-Learning-Angebote. Wenn auch meine persönliche Telefonnummer erhoben wurde, darf diese für die Unterbreitung von Angeboten der vorgenannten Produkte und Dienstleistungen der vorgenannten Unternehmen und Marktforschung genutzt werden.

Meine Einwilligung umfasst zudem die Verarbeitung meiner E-Mail-Adresse und Telefonnummer für den Datenabgleich zu Marketingzwecken mit ausgewählten Werbepartnern wie z.B. LinkedIN, Google und Meta. Hierfür darf die Vogel Communications Group die genannten Daten gehasht an Werbepartner übermitteln, die diese Daten dann nutzen, um feststellen zu können, ob ich ebenfalls Mitglied auf den besagten Werbepartnerportalen bin. Die Vogel Communications Group nutzt diese Funktion zu Zwecken des Retargeting (Upselling, Crossselling und Kundenbindung), der Generierung von sog. Lookalike Audiences zur Neukundengewinnung und als Ausschlussgrundlage für laufende Werbekampagnen. Weitere Informationen kann ich dem Abschnitt „Datenabgleich zu Marketingzwecken“ in der Datenschutzerklärung entnehmen.

Falls ich im Internet auf Portalen der Vogel Communications Group einschließlich deren mit ihr im Sinne der §§ 15 ff. AktG verbundenen Unternehmen geschützte Inhalte abrufe, muss ich mich mit weiteren Daten für den Zugang zu diesen Inhalten registrieren. Im Gegenzug für diesen gebührenlosen Zugang zu redaktionellen Inhalten dürfen meine Daten im Sinne dieser Einwilligung für die hier genannten Zwecke verwendet werden. Dies gilt nicht für den Datenabgleich zu Marketingzwecken.

Recht auf Widerruf

Mir ist bewusst, dass ich diese Einwilligung jederzeit für die Zukunft widerrufen kann. Durch meinen Widerruf wird die Rechtmäßigkeit der aufgrund meiner Einwilligung bis zum Widerruf erfolgten Verarbeitung nicht berührt. Um meinen Widerruf zu erklären, kann ich als eine Möglichkeit das unter https://contact.vogel.de abrufbare Kontaktformular nutzen. Sofern ich einzelne von mir abonnierte Newsletter nicht mehr erhalten möchte, kann ich darüber hinaus auch den am Ende eines Newsletters eingebundenen Abmeldelink anklicken. Weitere Informationen zu meinem Widerrufsrecht und dessen Ausübung sowie zu den Folgen meines Widerrufs finde ich in der Datenschutzerklärung, Abschnitt Redaktionelle Newsletter.