Anlagen für Halbleiterfertigung USA, Niederlande, Japan: Boykott-Allianz trifft China hart

Von Michael Eckstein Henrik Bork

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Washington hat mit den Niederlanden und Japan eine Boykott-Allianz gegen China für moderne Chiptechnologie geschmiedet. Das trifft Peking zunächst hart. Doch lassen sich die Restriktionen überhaupt langfristig durchsetzen?

Der chinesische Mobilfunkriese Huawei arbeitet seit Jahren an Anlagen zur Chipfertigung. Mittlerweile hat das Unternehmen ein Patent für eine EUV-Litographietechnik angemeldet. Dies könnte es China ermöglichen, Chips mit Technologieknoten von 7 nm – oder darunter – zu fertigen .(Bild:  Huawei)
Der chinesische Mobilfunkriese Huawei arbeitet seit Jahren an Anlagen zur Chipfertigung. Mittlerweile hat das Unternehmen ein Patent für eine EUV-Litographietechnik angemeldet. Dies könnte es China ermöglichen, Chips mit Technologieknoten von 7 nm – oder darunter – zu fertigen .
(Bild: Huawei)

Die jüngsten Exportkontrollen für Lithografie-Maschinen und andere Ausrüstungen treffen Chinas Halbleiterindustrie mindestens ebenso hart wie die zuvor kontinuierlich verschärften Chip-Boykotte. Nachdem es den USA Ende Januar gelungen war, die Niederlande und Japan zum Schulterschluss gegenüber Peking zu drängen, warten Marktbeobachter auf die Details des Paktes, die noch nicht veröffentlicht worden sind.

Am 27. Januar war es Washington gelungen, eine diskrete Vereinbarung mit Den Haag und Tokio über weitere Exportrestriktionen gegenüber der Volksrepublik im Bereich Lithografie-Maschinen und anderer Werkzeuge zur Herstellung von Halbleitern zu erwirken, berichtete die Wirtschaftsagentur Bloomberg.

Erst EUV-, dann DUV-Lithografie-Anlagen

Schon seit Oktober vergangenen Jahres hatte die US-Regierung den Verkauf fortschrittlicher, ultraviolette Strahlung nutzende DUV-Systeme aus den USA in die Volksrepublik verboten. Zu diesem Zeitpunkt hatte es noch so ausgesehen, als wollten die USA den Chinesen nur die Produktion der jüngsten Generation von Chips mit 14-Nanometer-Strukturen und darunter verwehren.

Doch nun sollen offenbar auch der Verkauf von weiteren, noch weniger fortgeschrittenen Lithografie-Prozessen und möglicherweise auch von Photoresist-Materialien nach China unterbunden werden. Die Details sind wie gesagt noch nicht bekannt und werden wohl erst in den kommenden Wochen und Monaten allmählich ans Licht kommen.

Anlagen aus USA, Niederlande und Japan essenziell für Chipproduktion

Die drei Länder USA, Japan und die Niederlande fertigen den überwiegenden Teil der kritisch wichtigen Ausrüstungen für die Chip-Produktion – weltweit. Neben der holländischen Firma ASML, die weltweit führend ist und die fortgeschrittensten Systeme baut, sollen jetzt auch japanische Firmen wie Nikon, Canon und Tokyo Electron Ltd., die etwas weniger fortschrittliche Lithografie-Maschinen herstellen und wichtige Vorprodukte herstellen, am Export ihrer Produkte nach China gehindert werden.

Einer Erklärung von ASML zufolge wird über die Details der Vereinbarung tatsächlich noch verhandelt, aber die Export-Restriktionen werden fortgeschrittene Halbleiter-Ausrüstungen betreffen, „inklusive aber nicht beschränkt auf fortgeschrittene Lithografie-Werkzeuge”.

Abkehr von bisheriger „Sliding Scale“-Doktrin

Der US-Sicherheitsberater Jake Sullivan hatte im September diese signifikante Verschärfung im „Chip War“ mit der Volksrepublik bereits angedeutet, als er in einer Rede die Abkehr von der alten Doktrin der Staffelung oder „Sliding Scale“ bei den Tech-Boykotten gegenüber dem kommunistischen China forderte.

Statt nur noch wie bisher stets zwei Generationen von Halbleitern in Führung zu bleiben, wollen die USA nun „den größten möglichen Vorsprung” bei der Halbleiter-Technologie gegenüber der Volksrepublik bewahren.

Weitreichendste Boykotte seit Ende des Kalten Krieges

Die Resultate sind das Dreiländer-Abkommen mit den Niederlanden und Japan und – so viel ist schon jetzt absehbar – die wohl weitreichendsten Hochtechnologie-Boykotte der USA seit dem Ende des Kalten Krieges mit der Sowjetunion.

China soll nicht nur der Zugang zu den leistungsstärksten Chips verwehrt werden, die die Schlagkraft seines Militärs erhöhen könnten. Vielmehr soll die gesamte Entwicklung Chinas zu einem wirtschaftlichen Wettbewerber der USA gebremst werden, der immer leistungsstärkere eigene Chips produzieren, verbauen und exportieren kann.

Im Fokus: KI-Chips, EDA-Software und jetzt auch DUV-Ausrüstungen

Statt nur noch „Dual-use”-Chips zurückzuhalten, setzt Washington seinen politischen Hebel nun zusätzlich auch bei weiteren zentralen Engpässen jeder modernen Volkswirtschaft an: Bei Chip-Design-Software, bei Chips für Künstliche Intelligenz jeglicher Art, sowie bei Ausrüstung für Chip-Fabriken und kritisch wichtigen Komponenten und Materialien.

Der Chip-Konflikt, das Herz der amerikanischen Wirtschaftssanktionen gegenüber China, hat damit eine völlig neue Dimension angenommen. Kurzfristig wird er den Versuch Pekings, bei Halbleitern zunehmend autark zu werden, nach Ansicht vieler Beobachter wohl spürbar erschweren.

Temporär wird China massiv ausgebremst – aber langfristig?

Doch ob die Boykotte auch langfristig die von Joe Biden erwünschten Folgen haben werden, ist mehr als fraglich. Peter Wennink, der CEO von ASML, warnt vor unbeabsichtigten Folgen. „Wenn sie diese Maschinen nicht bekommen können, dann werden sie diese selbst entwickeln“, sagte er im Interview mit Bloomberg News über die Chinesen.

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Die Verbissenheit Washingtons bei dem Versuch, den weiteren wirtschaftlichen Aufstieg seines „Rivalen“ China zu torpedieren, könnte Peking zu verstärkten Anstrengungen anspornen, von Chip-Importen aus dem Ausland unabhängig zu werden.

Huawei investiert massiv in die Chipfertigung – Patent auf EUV-Fertigung angemeldet

Der chinesische Technologie-Konzern Huawei, selbst auf der schwarzen Liste Washingtons, investiert selbst in die Chipfertigung und hat vergangenes Jahr sein erstes Patent für Extreme Ultraviolett-Lithografie (EUV) angemeldet, mit dem später einmal 7-nm-Chips produziert werden könnten.

Nun hat eine Lithografie-Maschine rund 100.000 verschiedene Teile, weshalb es noch einige Jahre dauern wird – mindestens zwischen zwei und fünf Jahren, lauten die Schätzungen verschiedener Experten – bis Peking die Technologielücke zu den USA, Taiwan und Südkorea im Bereich der Halbleiter wird schließen können. Aber der Anfang ist gemacht.

Lassen sich die neuen Boykotte überhaupt durchsetzen?

Doch lassen sich die Boykotte überhaupt effektiv implementieren? Das ist durchaus umstritten. Anfang Februar mussten sich zum Beispiel sechs Südkoreaner vor dem Bezirksgericht von Daejon dafür verantworten, wichtige Technologien zur Chipherstellung illegal nach China verkauft zu haben. China findet offenbar Wege, um an die begehrten Technologien zu gelangen – letztlich ist alles eine Frage des Preises.

Und dies ist nur die Spitze des Eisbergs, wenn es um chinesische Industriespionage geht, die nun durch die kompromisslose Haltung der Amerikaner für die kommunistische Staats- und Parteiführung Chinas immer relevanter wird. Und die Vergangenheit hat gezeigt, dass die Chinesen reichlich Erfahrung auf diesem Gebiet haben.

Kontrolle von Technologie-Boykotten schwierig

Technologie-Boykotte sind generell schwer durchzusetzen. Selbst die USA können nicht jedes Frachtschiff kontrollieren, das irgendwo auf den Weltmeeren unterwegs ist.

Die Erfahrungen mit verschiedenen Versuchen, bestimmte Länder vom Erwerb oder Bau von Massenvernichtungswaffen abzuhalten, bieten sich hier aber als Beispiel an. Wo immer es einen Boykott gibt, finden sich auch immer Schmuggler und Hintertüren zur Umgehung des Boykotts.

Auch der politische Widerstand unter den Verbündeten der USA gegen diese schrittweise, unilaterale Eskalation in einen neuen Kalten Krieg gegenüber China sollte nicht unterschätzt werden. Schon jetzt waren manche Handelsbeamte in Japan, die sonst nicht gerade für kritische Töne gegenüber Washington bekannt sind, „darüber verwundert, wie Japans Souveränität dermaßen missachtet werden konnte”, schreibt ein internationales Autorenteam für das East Asia Forum.

Boykott bedeutet immer auch Umsatzeinbußen

Selbst die Länder, die sich von Washingtons Drohgebärden zu einem begrenzten Ausrüstungsdboykott gegenüber China haben überreden lassen, sind über diese US-Politik und über den Profitausfall für ihre heimischen Unternehmen nicht sonderlich erfreut.

Analysten in Peking vermuten daher, dass die Lithografie-Boykotte der Niederlande und Japans weniger streng ausfallen könnten, als die von den USA selbst verhängten. Dies könnte auch der Grund sein, warum bis jetzt keinerlei Details bekannt gegeben worden sind. (me)

* Henrik Bork ist Analyst bei Asia Waypoint, einem auf den asiatischen Markt fokussierten Beratungsunternehmen in Peking.

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