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Halbleiter Optische Spektrumanalysatoren für Wellenlängen von 350 bis 1.750 nm

Von Dipl.-Ing. (FH) Hendrik Härter 2 min Lesedauer

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Schulz-Electronic GmbH
FAULHABER Antriebssysteme
ET System electronic GmbH

In Medizin und Biologie werden immer häufiger lichtemittierende Geräte eingesetzt. Gleiches gilt für die Herstellung und Charakterisierung von Halbleitern. Hier unterstützen optische Spektrumanalysatoren wie die beiden Modelle AQ6373E und AQ6374E die Entwickler.

Optischer Spektrumanalysator AQ6373E: Das Gerät deckt einen Wellenlängenbereich von 350 bis 1.200 nm ab. Solche Geräte werden unter anderem in der Halbleiterfertigung eingesetzt.(Bild: Yokogawa)
Optischer Spektrumanalysator AQ6373E: Das Gerät deckt einen Wellenlängenbereich von 350 bis 1.200 nm ab. Solche Geräte werden unter anderem in der Halbleiterfertigung eingesetzt.
(Bild: Yokogawa)

Zwei optische Spektrumanalysatoren für den sichtbaren Wellenlängenbereich hat der Messtechnikspezialist Yokogawa mit den beiden Modellen AQ6373E und AQ6374E entwickelt. Die beiden neuen Analysatoren sind die Nachfolger der Modelle AQ6373B und AQ6374.

Der optische Spektrumanalysator AQ6373E deckt denselben Wellenlängenbereich von 350 nm bis 1.200 nm ab wie sein Vorgänger AQ6373B. Neben einem Standart-Modell umfasst die Produktpalette jetzt auch ein hochauflösendes Modell, das für die genaue Bewertung von Lasern optimiert ist, sowie ein Modell mit eingeschränkter Leistung, das für Produktionsprüfungen entwickelt wurde. Die Wellenlängen-Auflösungen im Detail:

  • Standard: 0,02 nm bis 10 nm,
  • High Resolution: 0,01 nm bis 10 nm (0,01 nm on 350 bis 600 nm) und
  • Limited: 0,1 nm bis 5 nm.

Der optische Spektrumanalysator AQ6374E kann nicht nur für die Bewertung von lichtemittierenden Bauteilen wie Lasern verwendet werden, sondern auch zur Charakterisierung von optischen Fasern. Er bietet die hohe optische Leistung des bisherigen AQ6374 und verfügt über einen breiten Wellenlängenbereich von 350 bis 1.750 nm. Die Auflösungen im Detail:

  • Wide wavelength: 350 bis 1750 nm,
  • High wavelength resolution: 0,05 nm (full wavelength range) und
  • High wavelength accuracy: ±0,05 nm (633/1.523 nm), ±0,2 nm (350 bis 1.750 nm).

Auf den Prüfling zugeschnittene Benutzeroberfläche

Beide optischen Spektrumanalysatoren zeichnen sich durch eine verbesserte Benutzerfreundlichkeit aus, einschließlich eines APP-Modus, der die Testaufgaben der Kunden in Forschung, Entwicklung und Produktion beschleunigen soll. Der APP-Modus bietet eine auf den Prüfling zugeschnittene Benutzeroberfläche, die den Anwender von der Konfigurationseinstellung bis zur Ausgabe der Messergebnisse führt. So können auch Anwender, die mit optischen Spektrumanalysatoren weniger vertraut sind, die Geräte einfach bedienen. Die Geräte sind außerdem mit einem großen LC-Touch-Display ausgestattet.

Wachsender Bedarf an präzisen Spektrumanalysatoren

Es sind die wachsenden Anforderungen bei der Prüfung neuer optischer Geräte und Komponenten im sichtbaren bis nahen infraroten Wellenlängenbereich für Anwendungen in Medizin, Biologie und Materialbearbeitung. Hier können die beiden Analysatoren mit ihrer hohen Wellenlängenauflösung und der Close-in-Dynamik punkten.

Im medizinischen und biologischen Umfeld werden immer häufiger lichtemittierende Geräte eingesetzt, da sie sehr genau und nicht invasiv sind. Das erfordert Präzisionsmessungen während der Entwicklung. Auch in der Halbleiterfertigung ist die Charakterisierung und Qualitätskontrolle der im Produktionsprozess eingesetzten Laser eine Aufgabe für einen leistungsfähigen optischen Spektrumanalysator.

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