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Halbleiter-Messtechnik Technologiezentrum Dresden soll Halbleiterforschung vorantreiben

Von Dipl.-Ing. (FH) Hendrik Härter 1 min Lesedauer

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Fraunhofer-Institut fuer Photonische Mikrosysteme
Micro-Epsilon Messtechnik GmbH & Co. KG
dataTec AG
MTM Power Messtechnik Mellenbach GmbH

In Dresden soll ein neues europäisches Technologiezentrum für Halbleitermesstechnik entstehen. Die Experten wollen die Halbleiterforschung vorantreiben und Chiphersteller und Partner europaweit voranbringen.

Im neuen Technologiezentrum in Dresden werden sich künftig eBeam-Metrologiegeräte von Applied Materials finden, wie hier im Reinraum des Fraunhofer IPMS.(Bild: Fraunhofer IPMS)
Im neuen Technologiezentrum in Dresden werden sich künftig eBeam-Metrologiegeräte von Applied Materials finden, wie hier im Reinraum des Fraunhofer IPMS.
(Bild: Fraunhofer IPMS)

Das Fraunhofer IPMS beabsichtigt, gemeinsam mit einem Partner ein Technologiezentrum für Halbleitermetrologie und Prozessanalytik in Europa zu gründen. Das Technologiezentrum soll am Center Nanoelectronic Technologies (CNT) des Fraunhofer IPMS in Dresden angesiedelt werden. Ziel ist es, moderne metrologische Systeme zur Verfügung zu stellen, um die Halbleiterforschung voranzutreiben und Entwicklungsprojekte mit Chipherstellern und Industriepartnern in ganz Europa zu unterstützen.

Das Technologiezentrum wird mit modernster eBeam-Messtechnik des Fraunhofer-Partners Applied Materials ausgestattet, darunter das CD-SEM-System VeritySEM. Dabei handelt es sich um ein Rasterelektronenmikroskop für kritische Dimensionen. „Das Fraunhofer IPMS und seine Partner werden vom Zugang zu den führenden eBeam-Metrologiesystemen von Applied profitieren“, sagt Dr. Benjamin Uhlig-Lilienthal, Leiter des Geschäftsfelds Next Generation Computing am Fraunhofer IPMS.

Substratmaterialien und Waferdicken testen und qualifizieren

„Der neue Technologie-Hub wird Metrologie auf Wafer-Ebene in unserer industriellen CMOS-Umgebung ermöglichen, mit der Möglichkeit, Wafer direkt mit Halbleiterherstellern auszutauschen“, sagte James Robson, Corporate Vice President von Applied Materials Europe. „Das Kompetenzzentrum wird uns in die Lage versetzen, Prozesse auf einer Vielzahl von Substratmaterialien und Waferdicken zu testen und zu qualifizieren, die für Anwendungen in der vielfältigen europäischen Halbleiterlandschaft entscheidend sind.“

Die Messtechnik spielt bei der Herstellung von Mikrochips eine entscheidende Rolle, da sie die präzisen Messungen ermöglicht, die zur genauen Überwachung und Qualitätskontrolle der einzelnen Schritte und Prozesse bei der Halbleiterherstellung erforderlich sind. Chiphersteller setzen Messgeräte an kritischen Stellen ein, um physikalische und elektrische Eigenschaften zu validieren und die angestrebte Ausbeute zu gewährleisten.

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