Halbleiterherstellung Linearmotoren für Vakuum-Anforderungen in Reinräumen

Der niederländische Hersteller Tecnotion hat sich auf elektrische Vakuum-Linearmotoren spezialisiert, die auch unter den hohen Anforderungen von Reinräumen in der Halbleiterherstellung betrieben werden können.

Anbieter zum Thema

ET System electronic GmbH

MES Electronic Connect GmbH & Co. KG

N & H Technology GmbH

Tecnotion BV

Immer mehr High-Tech-Anwendungen verlangen nach Vakuum-Lösungen, um das Risiko von unerwünschten chemischen Reaktionen zu minimieren sowie Verunreinigungen während des Herstellungsprozesses oder der technischen Ausstattung möglichst zu vermeiden.

Wartungsfreundlichkeit, Zuverlässigkeit, Vielseitigkeit und Ausgasung sind kritische Faktoren für einen Motor in einer Vakuumanwendung; ist einer dieser Faktoren nicht vollständig erfüllt, kann dies lange Ausfallzeiten oder fehlerhafte Produkte zur Folge haben. Die Instandhaltungskosten von Bewegungssystemen im Vakuum sind sehr hoch. Der Vorteil von Linearmotoren mit Vakuumnennwerten liegt darin, dass sie keine beweglichen Teile haben und ohne Reibung arbeiten. Dadurch bedürfen diese Motoren keinerlei Wartung. Zudem können die Vakuumlinearmotoren von Tecnotion komplett in der Vakuumkammer installiert werden und benötigen keine teuren Vakuumdurchführungen.

Eine hohe Ausgasung des Bewegungssystems können den Produktionsprozess beeinträchtigen. Die eisenlosen Vakuumlinearmotoren von Tecnotion weisen deshalb die niedrigsten Ausgasungswerte auf, die ein Standardprodukt erreichen kann. Die spezielle Konstruktion der Spuleneinheit und des Magnetjochs machen die Tecnotion-Vakuummotoren für den Einsatz im Hochvakuum bis zu 10 - 8 mBar geeignet.

Aktuell bietet Tecnotion drei Typen von Vakuumlinearmotoren an:

• Eisenlose Linearmotoren mit Vakuumnennwerten für sehr hohe und niedrige Vakuum-Anforderungen,

• Linearmotor-Transportsystem mit eisenbehafteten oder eisenlosen Motoren,

• Kundenspezifische nach individuellen Anforderungen konstruierte Linearaktuatoren.

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