Halbleiterfertigung Halbleitergase-Produktion für Europa

Mit der Einweihung eines neuen Elektronikgasewerkes in München-Unterschleißheim will der Geschäftsbereich Linde Gas der Linde AG vor allem den steigenden Anforderungen des wachsenden

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Mit der Einweihung eines neuen Elektronikgasewerkes in München-Unterschleißheim will der Geschäftsbereich Linde Gas der Linde AG vor allem den steigenden Anforderungen des wachsenden Elektronikmarktes begegnen.

Bereits im Jahr 2004 stellte das Linde-Management die Weichen für ein stärkeres Engagement im Halbleitersegment und fand die Taiyo Nippon Sanso Corporation (TNSC) als Partner für die Betreuung des europäischen Marktes. Beide Unternehmen ergänzen sich im Hinblick auf Infrastruktur, Know-how und Forschungskapazitäten. Linde stellt ein logistisches Netzwerk, Produktionsanlagen für Bulkgase wie Stickstoff (N2), Sauerstoff (O2), Argon, Wasserstoff (H2) und Helium sowie Füllwerke für Flaschengase zur Verfügung – darunter auch Produktionsstätten für Spezial- und Elektronikgase.

TNSC und deren amerikanische Tochtergesellschaft Matheson Tri-Gas ermöglichen den Zugang zu eigenen Forschungslaboren in Japan und zu verschiedenen Flaschengasen und Equipment, die das Produktportfolio von Linde abrunden und vervollständigen. Die Gründung von Linde Nippon Sanso GmbH & Co.KG, bei der Linde die Mehrheit hält, erfolgte Anfang 2005. Dies führte auch dazu, global agierende Großkunden weltweit beraten zu können und die Versorgung mit einheitlichen Produkten zu gewährleisten.

Standort für die Produktion globaler Produkte

Im Wettbewerb zwischen drei Standorten für das neue Elektronikgasewerk gaben mehrere Faktoren den Ausschlag für München-Unterschleißheim. Die Kompetenz der Mitarbeiter sowie die Einhaltung des kurz bemessenen Fertigstellungstermins spielten hierbei eine Rolle. Sowohl für Linde als auch für die Stadt Unterschleißheim bedeutet der Neubau eine wesentliche Stärkung des Standortes im Münchner Norden, an dem sich Know-how konzentriert und somit auch infrastrukturell eine solide Basis für die Betreuung des anspruchsvollen Hightech-Marktes gegeben ist. Zudem trägt das neue Werk auch zur Arbeitsplatzsicherung bei. Es ist damit zu rechnen, dass sich die Zahl der 18 Mitarbeiter in den kommenden Jahren erhöhen wird.

Im Gegensatz zu Bulkgasen spielen die Transportkosten bei wertvollen Spezialgasen nur eine untergeordnete Rolle. Deshalb zeichnen sich die Werke in Unterschleißheim und die kürzlich eröffneten in Enköping/Schweden sowie in Suzhou/China hauptsächlich durch ihre Komplementarität aus. In Suzhou entstand ein Werk für Halbleiter- und Spezialgase, welches den gesamten asiatischen und pazifischen Raum versorgen wird. In Enköping werden nur Spezialgase gefertigt, die überwiegend den skandinavischen Raum abdecken. Das neue Werk in Unterschleißheim dagegen ist exklusiv auf Halbleitergase (Electronic Specialty Gases, ESG) ausgerichtet und wird vorwiegend den europäischen Raum versorgen.

Damit ergänzt es den Standort, an dem bereits ein Produktionswerk für Spezialgaseprodukte existiert. Hier werden nahezu 400 Komponenten in Spezialgase-Gemischen verarbeitet, in Enköping dagegen ca. 85 Komponenten. Von der Produktpalette sind die neuen Werke in Suzhou und Unterschleißheim annähernd vergleichbar. Das Werk in Suzhou ist bei einigen Produkten auf höhere Kapazitäten eingerichtet, während das Werk in Unterschleißheim eine breitere Produktpalette abdeckt. Beide sind mit dem Ziel entstanden, wichtige Märkte lokal bedienen zu können. Zusammen mit dem Werk der BOC in Medford/USA wird Linde eine weltweite Gase-Versorgung für die Spezial- und Elektronikgasebereiche sicherstellen können.

Sicherheit und Umweltschutz

Die Sicherheitseinrichtungen entsprechen dem neuesten Stand der Technik und gehen teilweise über das gesetzlich vorgeschriebene Maß hinaus. Alle Gase, die negative Auswirkungen auf die Umwelt haben könnten, werden über Gaswäscher geleitet. Dieses System funktioniert auch in nicht-bestimmungsgemäßen Anlagenzuständen. Ein dichtes Netz an Stoffdetektoren überwacht die Anlage permanent. Die Sicherheitsanlage steuert auch sämtliche Lüftungsaggregate. Eine bereits 20-jährige Erfahrung mit Halbleitergasen am Standort Unterschleißheim ohne umweltrelevante Vorfälle zeigt, dass die höchst qualifizierten und fortwährend geschulten Linde-Fachkräfte die Prozesse gut im Griff haben.

Neben den technischen Absicherungen erfordern auch die Produktanwendungen bei den Kunden verschiedener Gase ein hohes Qualitätsbewusstsein. Die Prozesse in der Halbleiterindustrie verlangen eine hohe und konstante Reinheit der gelieferten Gase. Flexibel und dennoch zuverlässig zu sein, d.h. Liefersicherheit zu bieten, zählt zu den wichtigsten Kenngrößen im Linde-Produktmanagement.

Die Produktpalette der hochreinen Spezialgase reicht von Dotier- und Ätzgasen bis zu Stoffen zur Abscheidung dünnster Schichten. Sie werden sowohl in der Chipherstellung als auch in der Solarzellenfertigung und Photovoltaik, Nanotechnologie sowie der Produktion von Glasfaserkabeln eingesetzt. Darüber hinaus gibt es Anwendungen in der Oberflächenbehandlung metallischer oder glasförmiger Werkstoffe. Elektronikgase finden ihren Einsatz in der Herstellung von Kommunikationshalbleitern, Automobil- und Optoelektronik, Speicherchips, Logikbausteinen wie ASICs sowie von Prozessoren. Weiterhin kommt eine Vielzahl von Anwendern aus den Bereichen Forschung und Entwicklung sowie Laboratorien.

Kapazitäten für Gegenwart und Zukunft

Gaseprodukte für die Elektronikindustrie wurden bisher schon im Linde-Werk Unterschleißheim hergestellt. Die Produktionskapazitäten jedoch reichten aufgrund der neuen Konstellation nicht mehr aus. Deshalb investierte das Unternehmen rund 13 Mio. € in die neue Fertigungsstätte.

Der Absatz der Halbleitergase zeigte in den letzten Jahren einen stetig wachsenden Trend. Im Vergleich zum Vorjahr hat Linde im ersten Halbjahr 2006 eine um 40% gesteigerte Menge an Produkten geliefert. Hierbei ist bereits der Einfluss der Kooperation mit Linde Nippon Sanso festzustellen. Seit Inbetriebnahme des neuen Werkes hat sich die Produktion aufgrund der aus dem Joint Venture dazugekommenen Kunden um ca. 75% gesteigert. Für das erwartete Wachstum in den kommenden Jahren weist das ESG-Werk in Unterschleißheim noch Kapazitätsreserven und Erweiterungsmöglichkeiten auf.

Linde Gas, Tel. +49(0)89 310010

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