Verbundprojekt Nanoanalytik Carl Zeiss Innovation Center Dresden wurde eröffnet

Der Optikspezialist Carl Zeiss SMT und die Chiphersteller AMD und Qimonda starten eine Kooperation im Rahmen des Verbundprojektes Nanoanalytik, das vom Bundesministerium für Bildung und Forschung (BMBF) mit 12 Mio. € gefördert wird. Die Partner arbeiten gemeinsam an neuen Analyse- und Charakterisierungsmethoden für die Chipentwicklung.

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Das neu gegründete Carl Zeiss Innovation Center Dresden ist ein wichtiger Baustein innerhalb des Verbundprojektes „Nanoanalytik“. Dort werden höchstauflösende Partikelstrahlsysteme installiert, die anstelle von Licht Elektronen- und Ionenstrahlen verwenden. Diese Systeme ermöglichen die Abbildung, Analyse und Bearbeitung von Proben bis zur Ebene einzelner Atome. Somit tragen sie entscheidend dazu bei, dass dreidimensionale Halbleiterstrukturen charakterisiert sowie neue Materialien für die Chipherstellung entwickelt werden können.

Stärkung des Forschungsstandortes Silicon Saxony

„Mit unserem Innovation Center engagiert sich Carl Zeiss SMT in Europas führendem Mikroelektronikcluster, dem ‚Silicon Saxony’. Dadurch wird dieses nicht nur in seiner Funktion als Forschungsstandort gestärkt, sondern auch die Weiterentwicklung der dort ansässigen Halbleiterindustrie gefördert“, erläutert Dr. Dirk Stenkamp, Vorstandsmitglied von Carl Zeiss SMT.

„Als Hersteller innovativer Mikroprozessoren stehen wir vor der Herausforderung, immer komplexere Strukturen in immer kleineren Dimensionen in höchster Ausbeute fertigen zu müssen“, so Dr. Udo Nothelfer, Vice President AMD Fab 36. „Prozesskontrolle auf atomarem Niveau spielt daher eine herausragende Rolle. Durch die gemeinsamen Arbeiten im Carl Zeiss Innovation Center Dresden haben wir Zugang zu neuesten Elektronen- und Ionenmikroskopen und können so die Einführung neuer Technologien weiter beschleunigen. Die Erfahrungen aus der industriellen Nutzung können wiederum frühzeitig in die Entwicklung zukünftiger Analysegeräte einfließen.“

Weiterentwicklung von Analyse- und Messverfahren

„Mit den inzwischen erreichten Strukturabmessungen lassen sich heutige Speicherzellen nur noch unter dem Elektronenmikroskop erkennen“, sagt Frank Prein, Geschäftsführer Qimonda Dresden und weltweiter Leiter Technologie bei Qimonda. „Nur durch die konsequente Weiterentwicklung der Analyse- und Messverfahren lassen sich auch zukünftig die Herausforderungen in der Entwicklung und Fertigung neuester Speichertechnologien meistern. Durch die vielfältige Einbindung von Forschungspartnern wird Qimonda im Verbundprojekt ‚Nanoanalytik’ die Exzellenz des Forschungsstandortes für sein Technologiekompetenzzentrum in Dresden nutzen und sein wissenschaftliches Netzwerk ausbauen und stärken.“

Neben den Verbundpartnern AMD und Qimonda steht das Carl Zeiss Innovation Center Dresden allen interessierten Firmen und Instituten im Raum Dresden zur Verfügung. Insbesondere können alle Partner des Silicon Saxony, wie beispielsweise die TU Dresden oder das Fraunhofer-Center Nanoelektronische Technologien CNT, Anwendungsfragen der Nanotechnologie lösen.

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